 |
Caroline D12A
Назначение:
Автоматическая установка термического, магнетронного и ионно-лучевого напыления на кремниевые, керамические и иные подложки диаметром до 100 мм. Установка обеспечивает ионно-лучевое напыление пленок материалов типа РС–5406; РС–3710; РС–1004 и др.
|
 |
Caroline D12A1
Назначение:
Автоматизированная установка ионно-лучевого и термического напыления пленок. Обладает возможностью ионного стимулирования. Имеет загрузочную дверь. Подложки размещаются на плоской горизонтальной карусели.
|
 |
Caroline D12B
Назначение:
Автоматизированная установка для магнетронного напыления пленок с ионным ассистированием. Подложки располагаются вертикально на барабане.
|
 |
Caroline D12B1
Назначение:
Автоматизированная установка для нанесения упрочняющих, стойких к коррозии и декоративных покрытий на две стороны изделия. Установка оснащена загрузочной дверью и планетарной каруселью.
|
 |
Caroline D12B2
Назначение:
Вакуумно-технологическая установка для двусторонней металлизации кремниевых, керамических и иных плоских подложек, толщиной не более 30 мм.
|
 |
Caroline D12B3
Назначение:
Вакуумно-технологическая установка для двусторонней металлизации кремниевых, керамических и иных плоских подложек, толщиной не более 30 мм.
|
 |
Caroline D12C
Назначение:
Автоматизированная установка для магнетронной металлизации с ионным ассистированием. Подложки располагаются вертикально на барабане. Кроме того, установка имеет камеру увеличенной высоты для больших объемов производства.
|
 |
Caroline PE12
Назначение:
Вакуумная автоматизированная установка для ионного, ионно-химического и плазмохимического травления тонких пленок.
|
 |
Caroline IE12
Назначение:
Автоматизированная установка для ионного травления. Имеет загрузочную дверь. Подложки располагаются вертикально на барабане.
|
 |
Caroline PE15
Назначение:
Шлюзовая автоматизированная установка для ионнохимического и плазмохимического травления.
|
 |
Caroline PECVD15
Назначение:
Шлюзовая автоматизированная установка для плазмостимулированного осаждения слоев из газовой фазы.
|
 |
Caroline NT 15
Назначение:
Автоматизированная шлюзовая установка для осаждения углеродных нанотрубок
|
