Системы с использованием электронно-лучевого испарения материалов
Cryofox E-beam поставляются в однокамерном варианте и с разделением рабочего объема. Оба типа подходят для мелкосерийного производства высококачественных компонентов, а также для исследовательских проектов. Поскольку электронно-лучевые испарители могут содержать до восьми одновременно испаряемых материалов, можно создавать весьма продвинутые многослойные структуры без нарушения вакуума.
|