Группа компаний ЭСТО - объединение ведущих российских предприятий, специализирующихся на разработках, производстве, модернизации, продаже и сервисном обслуживании специального технологического оборудования.
ЗАО «НПП «ЭСТО», Россия,
124460, Москва, Зеленоград,
проезд 4806, дом 4, строение 1.
+7 (499) 479 1239
+7 (499) 479 7724
+7 (499) 729 7751

e-mail: info@nppesto.ru
О группе компанийПартнерыПродукцияМодернизацияТехнологииПроекты группыПресс-центрИнвесторамКонтакты
Российское оборудование
Зарубежное оборудование

Устройства и узлы

 

Устройства и узлы — оборудование для травления

Магнетрон 787 БПКЖ.528.00.00-01

Магнетрон 787 используется в вакуумном оборудовании для напыления металлов (алюминий, титан, медь и др.) на различные объекты

Магнетрон 479 БПКЖ.675.00.00-02

Магнетрон 479 используется в вакуумном оборудовании для напыления металлов (алюминий, титан, медь и др.) на различные объекты.

Магнетрон Д100 БПКЖ.737.02.00.00.00-01

Магнетроны Д100 применяется для нанесения тонких пленок и покрытий из любых сплавов, металлов и полупроводниковых материалов без нарушения стехиометрического состава. Действуют они по принципу повышения плотности плазмы газового разряда в скрещенных магнитном и электрическом полях.

Магнетрон 787 H УКРД.768.02.00.00.00

Магнетрон 787Н используется в вакуумном оборудовании для напыления металлов (алюминий, титан, медь и др.) на различные объекты.

Магнетрон 479 РС БПКЖ.676.00.00-02

Магнетрон 479 РС предназначается для напыление резистивных материалов на объекты.

Магнетрон 479 Н БПКЖ.681.00.00-04

Магнетрон 479 Н предназначается для напыления магнитных материалов типа никель, хром и др. на объекты.

Магнетрон 787 РС БПКЖ.704.00.00-01

Магнетрон 787 РС предназначается для напыление резистивных материалов на объекты.

Магнетрон Д100 УКРД.755.00.00.00.00

Магнетроны Д100 применяется для нанесения тонких пленок и покрытий из любых сплавов, металлов и полупроводниковых материалов тонких пленок без нарушения стехиометрического состава. Действуют они по принципу повышения плотности плазмы газового разряда в скрещенных магнитном и электрическом поле.

Магнетрон 787 БПКЖ.528.00.00-01

Магнетрон 787 используется для напыления тонких пленок металлов и покрытий металлов (алюминий, титан, медь и др.) на объекты.

Испаритель термический УКРД.771.01.00.00.00

Термическое испарение представляет собой нагрев материала до температуры заметного испарения в специальном испарителе. В процессе происходит конденсация паров испаряемого материала в виде тонкой пленки на расположенные на некотором расстоянии от испарителя поверхности подложек.

Источник ионов 196 УКРД.769.02.00.00.00

Предназначается для предварительной очистки изделий перед напылением в вакуумных камерах и для ионного ассистирования стимулирования в процессе происходящего процесса напыления, а также для травления тонких слоев материалов методом ионно-химического травления (Элегаз, Фреоны и др.) или методом ионного распыления (Аргон). Не имеет в процессе эксплуатации расходуемых элементов, работает с газами произвольного состава.

Источник ионов 400 БПКЖ.648.00.00

Предназначается для предварительной очистки изделий перед напылением в вакуумных камерах и для ионного ассистирования в процессе происходящего напыления, а также для травления тонких слоев материалов методом ионно-химического травления (Элегаз, Фреоны и др.) или методом ионного распыления (Аргон). Не имеет в процессе эксплуатации расходуемых элементов, работает с газами произвольного состава.

Источник ионов 696 УКРД.769.04.00.00.00

Предназначается для предварительной очистки изделий перед напылением в вакуумных камерах и для ионного ассистирования, стимулирования процесса напыления, а также для травления тонких слоев материалов методом ионно-химического травления (Элегаз, Фреоны и др.) или методом ионного распыления (Аргон). Не имеет в процессе эксплуатации расходуемых элементов, работает с газами произвольного состава.

Генератор плазмы

TCP-антенна применяется в оборудовании очистки, плазменно-стимулированного нанесения пленок и плазмохимического травления для образования генерирования индукционной плазмы высокой уровня плотности.

 

ЗАО «НПП «ЭСТО», Россия, 124460, Москва, Зеленоград, проезд 4806, дом 4, строение 1. +7 (495) 479 1239, +7 (495) 479 7724, +7 (499) 729 7751
© 2008-2012 All Rights reserved
Создание / поддержка / раскрутка сайтов