Группа компаний ЭСТО - объединение ведущих российских предприятий, специализирующихся на разработках, производстве, модернизации, продаже и сервисном обслуживании специального технологического оборудования.

ЗАО «НПП «ЭСТО», Россия,
124460, Москва, Зеленоград,
проезд 4806, дом 4, строение 1.
+7 (499) 479 1239
+7 (499) 479 7724
+7 (499) 729 7751

e-mail: info@nppesto.ru

О группе компаний Партнеры Продукция Модернизация Технологии Проекты группы Пресс-центр Инвесторам Контакты

поиск по сайту

Российское оборудование

Зарубежное оборудование

Международная выставка «Semicon Russia 2012»

Группа компаний «ЭСТО» принимает участие в международной выставке «Semicon Russia-2012» проходящей 15-16 мая.

продвижение сайта

www.nppesto.ru / Продукция / Зарубежное оборудование / Системы для отмывки и сушки

Системы для отмывки и сушки

	Система сушки способом вращения «EL S 200 TT» для пластин до Ø 8” (Ø 200 мм) и подложек до 6” x 6” (150 мм x 150 мм). Описание Центрифуга вращения Управление через цветной сенсорный дисплей с Windows CE, до 40 программируемых рецептов, с восемью (8) программируемыми отдельными шагами процесса (возможность копирования через USB) Руководство по эксплуатации на русском, английском или немецком языках в печатном и электронном виде Возможные процессы: Нанесение, Травление, Очистка, Отмывка, Сушка Технические характеристики: Напряжение: Udc = 24 / 5A Скорость: 1-6000 об/мин, регулируемая с шагом до 1об/мин Ускорение: 1 - 30 регулируемых шагов (до 7.000 об/сек) Время шага: 1 до 999.9 секунд в шагах 0,1сек Размер платины/подложки: до Ø8” (Ø 200 мм) или 6” x 6” (150 мм x 150 мм) Материал центрифуги: полипропилен (СТР) Вакуум: -0,8 бара Возможно соединение с емкостью для отработанной жидкости Размеры системы (Ш x Д x В): Размер модуля: приблизительно 340 x 450 x 300 мм
	Кольцо-держатель для форсунок •держит до 3 форсунок от стороны Средняя форсунка №1 для растворителя или вода • установленная в крышке покрытия включая клапан для трубки и шланг для потока жидкости Средняя форсунка №2 для растворителя или вода • установленная в крышке покрытия включая клапан для трубки и шланг для потока жидкости Средняя форсунка №3 для растворителя или вода • установленная в крышке покрытия включая клапан для трубки и шланг для потока жидкости 5-ти литровый резервуар давления для форсунки №1 • нержавеющая сталь без датчика уровня • с датчиком давления 5-ти литровый резервуар давления для форсунки №2 • нержавеющая сталь без датчика уровня • с датчиком давления 5-ти литровый резервуар давления для форсунки №3 • нержавеющая сталь без датчика уровня • с датчиком давления Вакуумный присос для 2” до 6” пластин • для 2” - 6” пластин SEMI стандарта

	Система отмывки Easyline EL-SH-200SM со встроенной печкой Описание Система проявления Easyline EL-SH-200SM предназначена для пластин диаметром до Ø 8” (Ø 200 мм) подложек размером 6”x 6” (150 x 150 мм). Особенности: - Чаша центрифуги - Цвет дисплей с сенсорным управлением - До 40 программируемых рецептов, с восемь (8) программируемыми отдельными шагами (возможность копирования через USB), - Английское / немецкое руководство по эксплуатации на бумаге и на CD-ROM - С 3 свободными программируемыми выводами - Кольцо держателя сопла, содержит до 3 сопел на стороне - 3 сопла с расходомерами, регуляторами, клапанами и трубкой - Держатель с присосом для пластин до 150 мм - Держатель с присосом для подложек 60 x48 мм
	Кольцо-держатель для сопел HotplateQuickstep QS-H 200 с подъемными штырями для 4” - 12” - С покрытием, сделанным из нержавеющей стали - Диапазон температуры до 300°C - Точность температуры: +/-1°C на 100°C Технические данные: - Напряжение: 1x230VAC / 50 Гц / 16A - Скорость: 100-6000 U/min, корректируемые в 1U/мин-шаг - Ускорение: 1 - 30 корректируемых шагов - Время шага: 1 до с 9999 секундами в шагах 0,1s - Размер пластины/подложки: до Ø 8” (Ø 200 мм) или 6” x 6” (150 мм x 150 мм) - Материал чаши: полипропилен (PP) - Вакуум:-0,8 панели - Азот (Дополнительно): 4.5 ± 0.2 панели - Возможно подсоединение для откачки отходов Опции: 1. Бак для жидкости объемом 5 литров - Регулятор давления и прибор, чтобы скорректировать корпус / распределение давления - Специальная тара, чтобы хранить бак позади системы или в отдельном корпусе

Создание / поддержка / раскрутка сайтов