|
Система нанесения с открытой чашей Quickstep 200 SM со встроенной печкой
Описание
Система нанесения Quickstep 200 SM предназначена для пластин диаметром до Ø 12” (Ø 300 мм) подложек размером 9”x 9” (225 x 225 мм) для традиционного нанесения с открытой чашей.
Особенности:
- Единая система со всеми модулями процесса
- Чаша процесса и кольца сделаны из пластмассы
- Датчик контролирует уровень расхода химической емкости
- Система центрифуги с открытой чашей
- Цвет дисплей с сенсорным управлением
- Программируемые параметры процесса
- Вытяжка регулируемая в ручную
- Неограниченное число рецептов и шагов рецептов
- Время шага рецепта 0,1 … 999.9 секунд
- Интерфейс Ethernet / выход USB
- Электронная рука подачи
Свободная программируемая в скорости и положении для максимальных 6 линий подачи и 2 линий, снаружи моторизованных, распределяют руку (контролируемая сервомоторами), программируемое целевое положение скорости движения, программируемое в 0,1-миллиметровых шагах
- Прямой ведомый бесщеточный двигатель центрифуги
- Частота вращения двигателя 1 … 10.000 оборотов в минуту
- Моторное линейное ускорение 1 … 50.000rpm/sec ²
- Включая программное обеспечение QS управления для PC / Портативный компьютер - для более удобного письма рецепта и хранения
- Печь Quickstep QS-H 200 с подъемными штырями для 4” до 12”
- Диапазон температуры до 300°C
- Точность температуры: +/-1°C на 100°C
- Вакуумный присос для пластин Ø 150 мм с сосредоточением штырей
- Вакуум присос для подложек 60 x 48 мм с сосредоточением штырей
- Документация на английском языке (CD-ROM и стандартная бумага)
Общие Технические Данные:
- Напряжение: 3x400VAC / 50 Гц или 3x208VAC / 60 Гц / 16A
- Размер образцов: до Ø 12” (Ø 300 мм) или 9” x 9” (225 x 225 мм)
- Давление: Чистый сухой воздух (CDA) 8 ± 2 бара
- Вакуум: -0.8 бара
- Азот (Дополнительно): 4.5 бара
Габаритные размеры: (Ш x Д x В) 1200 x 650 x 1320 мм
|
