ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1
пн., пт.: с 9:00 до 18:00

+7 (499) 729-77-51 +7 (495) 981-91-69 +7 (499) 479 77 24

Измерение, исследование образцов

Список оборудования для проведения исследования образцов.
 
1. Сканирующий электронный микроскоп с автоэлектронной эмиссией S-5200.
Сканирующий электронный микроскоп (SEM) используется в различных областях, от исследований и разработок до производственных предприятий с высоким контролем качества. Возможности SEM позволяют производить контроль наноразмерных структур в электронике, функциональных материалах, тонкопленочных и других материалов, применяемых так же в биотехнологиях и формацевтике. 
На данном сканирующем электронном микроскопе возможно проведение исследований образцов размером:
- 2х8х5 мм.
Для улучшения качества исследования, образцы предварительно должны быть подготовлены. Для исследований послойной структуры потребуется скол или шлиф образца.
Микроскоп позволяет измерять элементы следующих размеров:
- от 0,5 нм до 0,5 мм при ускоряющем напряжении 30 кВ;
- от 1,8 нм до 1,5 мм при ускоряющем напряжении 1 кВ.
Исследования проводятся в любом из двух режимов увеличения:
- режим низкого увеличения: 60 до 10 000 раз (точность ±10%)
- режим высокого увеличения: 800 до 2 000 000 (точность ± 10%)
В результате измерений заказчик получает точные размеры необходимых структур, а так же цифровое изображение исследуемой структуры.
ФОТО МИКРОСКОПА
ФОТО ИЗМЕРЕННЫХ ОБРАЗЦОВ
2. Спектральный эллипсометр «AutoSe HORIBA Scientific».
Спектральный эллипсометр Horiba позволяет легко производить измерения тонких светопроводящих слоев. 
В результате анализа образца заказчик получает отчет, который полностью описывает параметры тонкой пленки, включая толщину пленки, оптические константы, шероховатость поверхности и неоднородности пленки.
Спектральный диапазон: 440-1000 нм.
Возможные размеры исследуемых участков: автоматический выбор 500х500 мкм; 250x500 мкм; 250х250 мкм; 70x250 мкм; 100х100 мкм; 50х60 мкм; 25x60 мкм.
Обнаружение: CCD-разрешение: 2nm
Просмотр образца: камера CCD-поле зрения: 1,33x1 мм с разрешением: 10мкм.
Гониометр: фиксированный на 70° - возможная установка на 66° и 61.5°.
Время измерения: менее 2 с, как правило около 5с.
Точность: при 100 нм = 4А.
Измерения проводятся на образцах диаметром до 200 мм.
Возможность автоматического измерения нескольких точек на подложке.
Толщина измеряемых слоев ограничена лишь параметрами светопроводимости слоя. 
 
3. Фотоспектрометр «Nanometrics 210».
Фотоспектрометр Nanometrics 210 – это компьютеризированная система измерения толщины пленки.  Это старое поколение NanoSpec.  Монохроматор механический и программное обеспечение работает в среде DOS. 
Источник ультрафиолетового света – Deep, который расширяет предел измерения вниз до 100Å.
Показатель преломления может быть введен Пользователем в качестве опции.
Возможность измерять толщину пленки подслоя.
Максимальный размер измеряемого образца – диаметром 6 дюймов (150 мм).
Как правила выполняются следующие измерения:
- оксид на кремнии - измеряет толщину диоксида кремния на кремнии, приготовленном термическим окислением толщиной более 100 ангстрем; 
- нитрид на кремнии - измеряет толщину нитрида кремния, который химически был выращен на кремнии толщиной более 100 ангстрем;
- негативного резиста на кремнии – измерение толщины слоя фоторезиста при толщинах от  500 до 40,000 ангстрем. Показатель преломления (RI) для конкретного негативного фоторезиста должен быть известен (по умолчанию 1,55);
- измерение нелегированного поликремния в диапазоне 550-10,000 ангстрем;
- измерение тонкого поликристаллического кремния менее 3000 Å.
Так же возможно проведение измерений толщин любых других тонких прозрачных пленок.
4. Микроспектрофотометр LTS-M/SP.
Микроспектрофотометрия (микро-Фотометрия, микро-спектрофотометрия) используется для определения характеристик оптических свойств тонких пленок. Позволяет исследовать оптические свойства, такие как отражение, пропускаемость, толщина покрытия, показатель преломления (оптически константы) и т.д. 
Данный микроспектрофотометр позволяет производить измерения толщин прозрачных пленок, коэффициентов преломления и отражения а так же других оптических характеристик на подложках диаметром до 150 мм (6 дюймов).
5. Профилометр DEKTAK 3030.
DEKTAK 3030 – это профилометр, который при помощи щупа позволяет производить измерения перепадов высот на различных образцах, применяемых в микроэлектронике, приборостроении и других областях. Так же позволяет производить измерения шероховатостей поверхностей образцов.
Как правило, измерения проводятся на заранее подготовленной ступеньке или сформированной структуре.
Основные характеристики профилометра:
Щуп (Стилус): радиус 12.5 мкм (Алмаз).
Диапазон сканирования по оси x: 50 мкм-50 мм.
Диапазон сканирования по оси z (перепад высот): 100 ангстрем -131 мкм.
Разрешение по оси Z: 
- 0,1 нм при измерении до 6,5 мкм;
- 1 нм при измерении до 65,5 мкм;
- 2 нм при измерении до 131 мкм.
Усилие: 1 − 40 мг.
Увеличение: от х35 до х200.
Выравнивание: ручное или двухточечное программное.
Сила отслеживания щупа: программируемая, 1-40 мг (0.01 - 0.4 Милли Ньютонов).
Максимальная толщина образца: 45 мм (1,75 дюйма).
Максимальный вес образца: 0.5 кг.
Максимальный размер образца: 165 мм (6,5 дюйма)
По результатам измерений заказчик получает отчет по перепадам высот структуры на определенных участках образцов, что позволяет контролировать соответствие расчетных и фактически полученных структур.
 
Для более подробной информации:  тел: +7 (495) 981 9169 почта: info@nppesto.ru

НОВОСТИ КОМПАНИИ

Ваша заявка принята!