 |
Бесконтактный измерительный прибор MX 3012 для измерения толщины кремниевых пластин
Описание:
MX 3012 измерительный прибор для пластин с ручной загрузкой для кремниевых пластин диаметром до 300мм. Этот прибор предназначен для измерения толщины пластины.
Похожий на все остальные измерительные приборы пластин компании Е+Н, в нем также применена технология бесконтактного измерения. Измерение пластин может быть просчитано с точностью до пяти единиц измерения или может быть произведено через встроенный компьютер, последовательный интерфейс. Калибровка измерения может быть проверена с помощью эталонной пластины. До 105 Wcm, удельное сопротивление из кремния не затрагивает калибровку.
Прибор измерения пластин может быть настроен так, чтобы было возможно измерить более высокий материал сопротивления такой как GaAs или пластины GGG. В положении выключения 'GaAs' датчики составляют многослойный конденсатор с воздухом, объект измерения высокого сопротивления, как диэлектрики, ценность 11.3 сохранена в микропроцессоре EEPROM для материальной константы (относительная диэлектрическая константа) используемый в вычисление. Это значение может быть изменено, если это необходимо.
|
 |
Бесконтактный прибор MX 604 для измерения сопротивления кремниевых слитков
Описание:
Разработанная новая версия измерительного прибора пластин MX 604, который теперь включает алфавитно-цифровой дисплей VFD, LEDs, а также оптосоединительные выходы, чтобы считывать сопротивление в выбранном диапазоне, и дальнейшим выводом на интерфейс RS232. Инструмент может производить измерение слитков в автономном режиме или альтернативно с соединением с PC. Программное обеспечение Windows EH-Master позволяет производить дальнейшую оценку измерений пластин, конфигурацию инструмента. MX 604 использован известный вихревой метод. Линии магнитного поля открытой высокочастотной катушки проникают через кремниевый материал, производя потоки вихря, которые увеличивают потери мощности генератора. Если все линии поля проходят материал, это поглощение мощности пропорционально проводимости образца, таким образом, может быть произведено измерение сопротивления пластин.
|
 |
Бесконтактный измерительный прибор MX 604-В для измерения сопротивления кремниевых слитков
Описание:
Разработанная новая версия MX 604-В теперь включает алфавитно-цифровой дисплей VFD, LEDs, а также оптосоединительный выходы, чтобы считывать сопротивление в выбранном диапазоне, выводить его на интерфейс RS232. Прибор может применяться и как переносной, с подключением батареи. MX 604-В использует известный вихревой метод. Линии магнитного поля открытой высокочастотной катушки проникая через кремниевый материал, производят вихревые потоки, которые увеличивают потери мощности генератора. Если все линии поля проходят материал, это поглощение мощности пропорционально проводимости образца, таким образом, может быть вычислено сопротивление. Новый MX 604-В позволяет соединять до 4 различных датчика измерения (альтернативно), чтобы измерять различные диапазоны сопротивления пластин.
|
|
Бесконтактный измерительный прибор MX 203-6-41-q для измерения толщины, TTV, прогиба, коробления кремниевых пластин.
Описание:
MX 203-6-41-q является измерительным прибором с ручной загрузкой пластины для измерения геометрии кремниевых пластин 156x156 мм ² или ниже. Это оборудование предназначено, чтобы контролировать толщину, геометрию пластины. Как в других измерительных приборах пластин компании Е+Н Metrology, здесь применена технология бесконтактного измерения с помощью емкостных датчиков. Чистое время измерения одной пластины составляет 8 сек. Полный цикл измерения, с ручной загрузкой/выгрузкой пластины оператором, занимает приблизительно 20 сек.
|
|
Бесконтактный измерительный прибор MX 608-q для измерения толщины кремниевых пластин.
Описание:
Измерительный прибор MX 608-q для измерения толщины - компактный настольный инструмент для бесконтактного измерения маленьких полупроводниковых пластин. Для измерения пластины перемещаются автоматически внутрь прибора. На этом пути они проходят один датчик измерения сопротивления, а также один датчик измерения толщины. Прибор осуществляет измерение сопротивления в центре пластины, а затем, в одном направлении, происходит измерение других дополнительных 15 точек, то же самое сканирование производится после поворота пластины на 90º. Проводимые измерения отправляются на компьютер через серийный интерфейс инструмента. Там результаты обрабатываются, выводятся на экран, программное обеспечение может также дополнительно обеспечить управление данными с последующим выводом их на печать.
|
|
