
|
Бесконтактный измерительный прибор MX 608 для измерения толщины, сопротивления, TTV, типа проводимости кремниевых пластин с сортирующим роботом.
Описание:
Измерительный прибор компактный настольный инструмент для бесконтактного измерения толщины, сопротивления, ТТV и типа проводимости кремниевых пластин. Для измерения пластины перемещается автоматически внутрь прибора. На этом пути она проходит один датчик сопротивления и один датчик толщины. Они измеряют значение в центре пластины, а затем другие 15 точек измеряются в одном направлении и дополнительно, то же самое сканирование после поворота на 90º. Параллельно с этими измерениями, проводится замер типа проводимости в центре пластины с помощью бесконтактного датчика. Проводимые измерения отправляются на компьютер через серийный интерфейс инструмента. Там результаты обрабатываются и выводятся на экран, программное обеспечение может также дополнительно обеспечить управление данными и вывода на печать.
|