Публикации

Автор: Генеральный директор НПП "ЭСТО" В. Б. Разумов

Группа компаний ЭСТО (электронное специальное технологическое оборудование) - это объединение российских компаний, специализирующихся на разработках, производстве, модернизации, продаже и послепродажном обслуживании специального технологического оборудования

Многие годы лазерная обработка материалов применялась в областях, где традиционные методы обработки не отвечали требованиям по гибкости и точности. Однако по общему числу применений микрообработка всегда уступала макроприменениям . Но повышение требований к качеству и надежности высокотехнологичной продукции, увеличение информационной пропускной способности, миниатюризация и интеллектуализация приборов, которые стали более управляемыми и гибкими во всех своих системах, привело к серьезному росту значения микротехнологий в производстве.

Автор: Берлин Е.Н.

С помощью специальной конструкции магнитной системы магнетрона и мишенедержателя получены сверхвысокие скорости напыления меди на поликоровые подложки размером 60*48 мм. 

Скорость напыления составила до 2 мкм/мин. при мощности в разряде 2 КВА. Еще одной особенностью работы такого модифицированного магнетрона является низкое рабочее давление, не выше 1*10-2 Ра, что в сочетании с высокой скоростью напыления позволяет предположить низкое содержание растворенных рабочих газов в напыляемом покрытии.

Журнал «ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес», N 2/2006

Е.Берлин, Л.Сейдман

Многослойные покрытия, широко применяемые при производстве изделий электронной техники, целесообразно наносить на подложку за один технологический цикл. В результате не только повышается производительность процесса, но и снижается плотность дефектов в слоях, что позволяет значительно улучшить межслойную адгезию и исключить расслоение структуры при дальнейших операциях. Эти задачи могут быть успешно решены с помощью разработанных и серийно выпускаемых ООО "ЭСТО-Вакуум" новых полностью автоматизированные установок вакуумного напыления с возможностями комбинирования средств нанесения и травления покрытий.

Журнал «ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес», N 8/2005

Е.Берлин, С.Двинин, Н.Морозовский, Л.Сейдман.

Развитие технологии производства СБИС требует создания принципиально нового вакуумного технологического оборудования, использующего перспективные физические принципы обработки. Для формирования микроструктур с размерами элементов в субмикронной области наиболее перспективны ионно-плазменные процессы, использующие плазму, генерируемую в скрещенных электрическом и магнитном полях [1]. В последние годы повышенное внимание привлекают системы и методы, реализующие ионно-плазменную обработку при использовании резонансных явлений в ВЧ- и СВЧ-плазме [2, 3]. Поэтому большой интерес представляет новая установка реактивного ионно-плазменного травления и осаждения "Каролина 15", отвечающая современным требованиям полупроводникового производства.