ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1
пн., пт.: с 9:00 до 18:00

+7 (499) 729-77-51 +7 (495) 981-91-69 +7 (499) 479 77 24

XORS L

XORS L
XORS L XORS LXORS L
Отправить заявку

 

Проект XORS подразумевал создание установки с предельно достижимыми характеристиками. Однако на его базе разработаны более простые и доступные по цене версии под общим названием XORS L. Для установки предлагается три типа источников плазмы, верхний электрод с газовым душем для ССР конфигурации, три типа рабочих столов как с электростатическим прижимом, так и с механическим, три типа вакуумных систем. В самых простых версиях загрузка подложек осуществляется непосредственно в камеру.

Ваша заявка принята!