ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1
пн., пт.: с 9:00 до 18:00

+7 (499) 729-77-51 +7 (495) 981-91-69 +7 (499) 479 77 24

Вакуумная печь плавления VSS-450-300

Вакуумная печь плавления VSS-450-300
Вакуумная печь плавления VSS-450-300
Отправить заявку
Технические данные
  • Процессная камера из алюминия
  • Для подложек размером  300 мм x 300 мм
  • Высота камеры: 70 мм
  • Смотровое окно спереди (видимая апертура: 270 мм шириной, 30 мм высотой)
  • Встроенный вход и выход для газов 
  • Охлаждаемая водой графитовая плита  310 мм x 310 мм
  • Скорость нагрева: 150 K/мин
  • Скорость охлаждения: 120 K/мин
  • Блокировка
  • Максимальная температура : 450 °C
  • Температурный контроль с помощью термопары (типа K, NiCr-Ni)
  • Размеры: 550 мм x 690 мм x 890 мм (Ш x Г x В)
  • Открытая ширина : 200 мм
  • Вес: около 110 кг
Нагрев
  • Нагрев осуществляется с помощью  24 инфракрасных ламп , собранных в пересекающуюся центровку 
  • 3 зоны нагрева
  • Нагрев снизу
Вакуум
  • Вакуум осуществляется внешним насосом до величины 10-3 гПа
  • Вакуумный насос доступен как опция
  • Управление процессом
  • Процессный контроллер SPS с 50 программами и до  50 шагов в каждой (Ethernet интерфейс), на базе SIMATIC S7-1200
  • Сохранение процессных данных в формате CSV на  USB 2.0 носителе, на SD карте или в сети
  • Включен сенсорный дисплей 7" для комфортабельного контроля за процессом в деталях
  • Охлаждение водой
  • Требуется водяное охлаждение  (5 бар входное давление, 15...20 °C температура входной воды, деминерализованная вода , без частиц Cu )
  • Стандартное питание VSS 
  • 3 x 400 в, 3~ + фазы + PE, 32 A, 18 квт, 50 гц (IEC 60309, 3L+N+PE, 6h)
  • РРГ-N2-5nlm
  • Один РРГ контроллер в линии процессного газа , стандартный
Технические параметры:
  • Тип газа: Азот (N2)
  • Максимальный поток : 5 нлм (нормальных литров в мин)
Многокаскадный насос РУТС типа  NeoDry 15E-2D с мульти балластным газом в качестве форвакуумного насоса для системы высокого вакуума.
Технические параметры:
  • Остаточное давление: 1 x 10-2 гПа
  • Производительность насоса : 15 м³/ч
  • Воздушное охлаждение
  • Вход и выход газа: DN25
  • Шумовая эмиссия : < 56 дб (A)
  • Источник питания: 230 в / 50 гц / 400 вт
  • Размеры: 385 мм x 210 мм x 250 мм (Ш x Г x В)
  • Вес: 23 кг
  • Дистанционное управление с помощью системы VSS-450-300 (поз. 1)
Ваша заявка принята!