ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1
пн., пт.: с 9:00 до 18:00

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Установки утонения, шлифовки, полировки пластин MPS R400 GGP

Установки утонения, шлифовки, полировки пластин MPS R400 GGP
Установки утонения, шлифовки, полировки пластин MPS R400 GGP
Отправить заявку

Установки утонения, шлифовки, полировки пластин MPS R400 GGP

Система прецизионного шлифования разработана специально для подрезания торца и полирования металлических и неметаллических материалов, например, сталь, твердые сплавы и металлы, полупроводниковые материалы, керамика, сапфир и кварц. Система обеспечивает в автоматическом режиме технологические процессы: предварительная шлифовка до 10 мкм со снятием 100 мкм/мин, тонкая шлифовка 10мкм/мин, выхаживание 20 сек, автоматическая полировка.

Установка прецизионного шлифования и полирования MPS R 400 GGP:

  • сдвоенный шпиндель -1 шт.;
  • объединенный блок шлифования – 1 шт.;
  • поворотный стол MPR 270 (или эквивалент) диаметром, 400 мм и скоростью вращения 10 об/мин (непрерывное вращение) с держателем подложек из пористой керамики, изготовленный из Х18Н10Т  толщиной, 100 мм. – 1шт.;
  • автоматическая подача – 1 шт.;
  • брызговик и защита области шлифования – 1 шт.;
  • управление подачей полировальной суспензией – 1 шт.;
  • ручное устройство отмывки – 1 шт.;
  • автоматический поворот шлифовальной головы для подвода полировальной головы – 1 шт.;
  • опорная плита Ø 400 мм для установки различных рабочих плит вакуумного держателя – 1 шт.;
  • рабочая плита вакуумного держателя Ø 400 мм, устанавливаемая на опорную плиту и содержащая 1 пористый керамический держатель – 1 шт.;
  • автоматический контроль размера обрабатываемого изделия – 1 шт.;
  • керамический держатель для пластин – 1 шт.;
  • шлифовальный круг для шлифования вакуумной плиты – 1шт;
  • шлифовальный круг – 20 шт;
  • правильный камень – 8 шт.

Зона эксплуатации установки соответствует следующим требованиям:

  • отсутствие оборудования, создающего вибрацию (прессы, молоты и т.д.);
  • машина установлена горизонтально на специальных опорах, входящих в комплект поставки.
  • Конструкция обеспечивает защиту от случайного запуска процесса и начала вращения подвижных частей за счет контроля открытия защитных дверей, системы контроля фиксации обрабатываемого изделия; контроля выбора рабочей программы.

Контроллер управления шлифовальным шпинделем обеспечивает:

  • Переход из автоматического в ручной режим;
  • Включение/выключение вращения стола для подложек как в ручном, так и в автоматическом режиме;
  • Включение/выключение промывки держателя рабочего стола;
  • Отвод/подвод второго шлифовального шпинделя;
  • Включение/выключение подачи вакуума на держатель подложек;
  • Включение/выключение вращения шлифовального шпинделя;
  • Аварийная остановка вращений;
  • Включение/выключение охлаждения;
  • Подведение/отведение шлифовального шпинделя;
  • Ручное задание скорости вращения шлифовального шпинделя;
  • Отображение текущих скоростей вращения;
  • Ручное задание скорости вращения стола для подложек.

Система управления шлифованием обеспечивает следующее:

  • Скорость вращения шпинделя при выхаживании 5000 (об/мин);
  • Скорость вращения поворотного стола при выхаживании 10 (об/мин);
  • Выбор шлифовального круга (черновой/чистовой);
  • Скорость вращения поворотного стола при черновом/чистовом шлифовании 10 (об/мин);
  • Скорость вращения шпинделя при шлифовании черновым кругом 5000 (об/мин);
  • Скорость вращения шпинделя при шлифовании чистовым кругом 5000 (об/мин).

Система управления отображает ошибки следующим образом:

  • Принятие возникших ошибок, при сохранении их активными.
  • Удаление исправленных ошибок.

Система управления полированием обеспечивает:

  • Вращение стола в обратном направлении;
  • Задание давления полирования 5 (бар);
  • Индикатор счетчика циклов полирования;
  • Задание скорости поворотного стола при полировании 10 (об/мин);
  • Задание времени выхаживания при полировании 0-9999 (сек);
  • Задание скорости вращения шлифовального шпинделя 0-500 (об/мин);
  • Задание времени автоматического цикла полирования 0-9999 (сек).

Система управления состоит из следующих блоков:

  • Механические кнопки запуска/остановки выполнения процесса;
  • Контроллер управления перемещением шлифовальным шпинделем по оси Z;
  • Сенсорная панель задания скоростей вращения шлифовального шпинделя, рабочего стола, управления полированием c цветным сенсорным дисплеем (резистивный тип сенсора с одной точкой касания) диагональю, 7’ и разрешением 800 х 600;
  • Система управления модулем измерения толщины изделия.

Технические характеристики установки прецизионного шлифования и полирования:

  • максимальная скорость грубой подачи шлифовального шпинделя: 50000 мкм/мин;
  • минимальная скорость грубой подачи шлифовального шпинделя: 1 мкм/мин;
  • минимальная скорость подачи шлифовального шпинделя при черновом шлифовании: 1 мкм;
  • максимальная скорость подачи шлифовального шпинделя при черновом шлифовании: 10000 мкм/мин;
  • минимальная скорость подачи шлифовального шпинделя при чистовом шлифовании: 1 мкм;
  • максимальная скорость подачи шлифовального шпинделя при чистовом шлифовании: 1000 мкм/мин;
  • максимальное время выхаживания: 1000 с;
  • шаг программирования подачи шлифовального шпинделя: 1 мкм;
  • электропитание установки: 7 кВт;
  • электропитание электродвигателя шлифовального шпинделя: 4 кВт.
  • равномерность по толщине: 76 мм – +/-2 мкм, 150 мм – +/-3 мкм;
  • минимальная толщина пластины после обработки – 100 мкм;
  • достигаемаяRaпосле обработки – 0,005 мкм;

максимальная производительность:

  • 76 мм – 50 шт/час
  • 100 мм – 25 шт/час
  • 150 мм – 15 шт/час

 

Конструкция установки обеспечивает возможность использования следующих шлифовальные круги:

  • керамика 200х100х76 мм;
  • алмазный 200х34х76 мм;
  • максимальный диаметр рабочей области: Ø 400 мм;
  • средний расход: 4шлифкругов/год, 50 полировальных лент /год

Параметры шлифования:

  • максимальная скорость вращения стола для подложек: 7 об/мин;

Система подает в зону шлифования деионизованную воду 20МОм:

  • расход воды: 900 л/ч;
  • промывка держателей подложек: 750 л/ч;
  • водокольцевой вакуумный насос потребляет 210 л/ч, обеспечивает остаточное давление 1 мбар, обеспечивает откачку воды;

Габариты установки:

  • занимаемая площадь установки не должна превышать  2600 х 1800 мм2;
  • вес установки не должен превышать  1100 кг.

Потребление сжатого воздуха установки соответствует следующим требованиям:

  • давление (мин/макс)    5,5/6,5 атм;
  • расход: 200 л/мин;
  • содержание масла: 1 мг/ м3;
  • точка росы: - 45 ºC;
  • размер частиц пыли: 1 мкм;
  • подключение осуществляется с помощью гибкого шланга с внутренним диаметром 7 мм.

Электропитание установки соответствует следующим требованиям:

  • напряжение питания 380 В;
  • допустимые отклонения напряжения питания ± 10 %;
  • частота 50 Гц ± 1 Гц;
  • потребляемая мощность: 10 кВт;
  • подключение 5-и проводное.

Потребление установкой воды соответствует следующим требованиям:

  • давление 3 - 4,5 атм;
  • расход: 10 л/мин;
  • температура  20-25 ºC (не должна отличаться от температуры воздуха более чем на 2 ºC);
  • подключение осуществляется с помощью гибкого шланга с внутренним Ø 14 мм.

Слив подключается с помощью двух точек и соответствует следующим требованиям:

  •    подключение – патрубок  Ø  40 мм;

               - расход 4 л/мин.

               - подключение – гибкий шланг с внутренним Ø 14 мм (необходимо механически прочное подключение);

               - расход  6 л/мин.

Ваша заявка принята!