Продукция
- Оборудование на складе
- Нестандартное оборудование
- Оборудование для жидких процессов литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Оборудование для оптической литографии
- Рентгеновское оборудование для контроля
- Оборудование на складе
- Сборочное оборудование и материалы
- Установки для жидких процессов литографии
- Устройства для измерения пластин и толщины пленок
- Оборудование для литографии
- Оборудование для высшей степени очистки газов
- Вакуумное оборудование
- Автоматы для герметизации корпусов
- Установки для изготовления и обработки подложек
- Оборудование для термических процессов
- Ионные имплантеры
- Бинокулярные и стереоскопические микроскопы
- Аппараты для атомно-слоевого осаждения
- Промышленные компрессоры
- Газовые системы
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Установка Quickstep 200 SM с открытой чашей и встроенной печкой
Описание
Система нанесения Quickstep 200 SM предназначена для пластин диаметром до Ø 12” (Ø 300 мм) подложек размером до 9”x 9” (225 x 225 мм) для традиционного нанесения с открытой чашей.
Технологические особенности:
- Единая система со всеми модулями процесса
- Чаша процесса и кольца сделаны из полипропилена
- Датчик контролирует уровень расхода химической емкости
- Система центрифуги с открытой чашей
- Цветной дисплей с сенсорным управлением
- Программируемые параметры процесса
- Вытяжка регулируемая в ручную
- Неограниченное число рецептов и шагов рецептов
- Время шага рецепта 0,1 … 999.9 секунд
- Интерфейс Ethernet / выход USB
- Прямой ведомый бесщеточный двигатель центрифуги
- Частота вращения двигателя 1 … 10.000 оборотов в минуту
- Моторное линейное ускорение 1 … 50.000rpm/sec ²
- Программное обеспечение QS управления для PC / Портативный компьютер - для более удобного письма рецепта и хранения
-
Печь Quickstep QS-H 200 с подъемными штырями для пластин от 4” до 12”
Диапазон температуры до 300°C
Точность температуры: +/-1°C на 100°C - Документация на английском языке (CD-ROM и стандартная бумага)
Общие Технические Данные:
- Напряжение: 3x400VAC / 50 Гц или 3x208VAC / 60 Гц / 16A
- Размер образцов: до Ø 12” (Ø 300 мм) или 9” x 9” (225 x 225 мм)
- Давление: Чистый сухой воздух (CDA) 8 ± 2 бара
- Вакуум: -0.8 бара
- Азот (Дополнительно): 4.5 бара
- Габаритные размеры: (Ш x Д x В) 1200 x 650 x 1320 мм
Возможные опции:
|
Электронная распределительная рука
|
|
Различные держатели для подложек размером 60х48, 30х48, 30х24 мм, пластин диаметром до 300 мм и другие типы размеров по ТЗ заказчика
|
|
Моторизированная дозирующая шприцевая система MSD 55
|
|
Модуль нанесения RCCT (Rotated Covered Chuck Technology)
|
Равномерность покрытия
с открытой чашей |
с модулем RCCT |