ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Жидкие процессы литографии

Отправить заявку

Установка Quickstep S 200 SMS для нанесения/проявления фоторезиста

Описание:

Отдельно стоящая установка для нанесения фоторезиста с открытой чашей методом центрифугирования для пластин до  8” (200mm) и подложек до 6” x 6” (150 x 150mm).

Характеристики:

  • Отдельно стоящий шкаф со всеми производственными встроенными модулями
  • Система центрифугирования с открытой чашей
  • Горячая плита, аналогичная  HMDS HP но без блока барботажа; Цветной сенсорный дисплей ввода данных для каждой системы
  • Интерфейс интернет / флэшка
  • Программное обеспечение QS для управление с помощью ПК– для более удобной записи и хранения рецептов
  • Руководство на русском языке в печатном и электронном виде

Технические данные:

  • Напряжение: 3 x 400В переменого тока/ 50Гц или 3x 208В переменного тока/60Гц
  • Подложки размером до 8” (200 мм) или 6” x 6” (150 x 150 мм)
  • Давление: Чистый сухой воздух (CDA) 8 ± 2 bar вакуум: -0.8 bar азот (опция): 4.5 ± 0.2 bar
  • Выхлоп: с внешним диаметром  110мм, 40м3/час

Центрифуга:

  • Скорость вращения: от 1 до 10,000 об в мин с шагом 1 об в мин (зависит от веса и размера подложки)
  • Ускорение: от 1 до 50,000 об в мин за сек с шагом 1 об в мин за сек (зависит от веса и размера подложки)
  • Время вращения: от 0.1 до 999 сек с шагом 0.1 сек
  • Рабочая чаша из полипропилена
  • Дренажный танк: 5 литров и датчик перелива
  • Требуется электронная распылительная рука для всех дополнительных сопел
  • Габаритные размеры: 600х622х1320 мм
Ваша заявка принята!