Установка Polyteknik электронно-лучевого распыления EXPLORER 700

В случаях, когда не требуется ограничений по составу материалов и композиции многослойных структур, установка Cryofox Explorer 700 является идеальным выбором. Установка позволяет получать сплавные слои из чистых распыляемых материалов, используя метод совместного осаждения. Благодаря применению специальных вырезанных лазером масок достигается почти идеальная однородность осажденного покрытия на всей поверхности 6-дюймовой (150 мм) подложки. Система способна обрабатывать до восьми 4-дюймовых (100 мм) или четырех 6-дюймовых (150 мм) подложек за одну загрузку. Новая загрузка производится без разрыва вакуума в рабочей камере.