Главная
Продукция
Зарубежное оборудование
Вакуумное оборудование
Установка Polyteknik электронно-лучевого распыления EXPLORER 700
Продукция
- Оборудование на складе
- Нестандартное оборудование
- Оборудование для жидких процессов литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Оборудование для оптической литографии
- Оборудование на складе
- Сборочное оборудование и материалы
- Установки для жидких процессов литографии
- Устройства для измерения пластин и толщины пленок
- Оборудование для литографии
- Оборудование для высшей степени очистки газов
- Вакуумное оборудование
- Автоматы для герметизации корпусов
- Установки для изготовления и обработки подложек
- Оборудование для термических процессов
- Ионные имплантеры
- Бинокулярные и стереоскопические микроскопы
- Аппараты для атомно-слоевого осаждения
- Промышленные компрессоры
- Газовые системы
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Установка Polyteknik электронно-лучевого распыления EXPLORER 700
Отправить заявку
В случаях, когда не требуется ограничений по составу материалов и композиции многослойных структур, установка Cryofox Explorer 700 является идеальным выбором. Установка позволяет получать сплавные слои из чистых распыляемых материалов, используя метод совместного осаждения. Благодаря применению специальных вырезанных лазером масок достигается почти идеальная однородность осажденного покрытия на всей поверхности 6-дюймовой (150 мм) подложки. Система способна обрабатывать до восьми 4-дюймовых (100 мм) или четырех 6-дюймовых (150 мм) подложек за одну загрузку. Новая загрузка производится без разрыва вакуума в рабочей камере.
- Двухмодульная конструкция камеры с загрузочным шлюзом;
- До восьми 4-дюймовых (100 мм) или четырех 6-дюймовых (150 мм) подложек за одну загрузку;
- Не более двух электронно-лучевых источников.