Установка Polyteknik двустороннего магнетронного напыления Discovery 501 Dual Side

Cryofox Discovery 501ds представляет собой однокамерную установку вакуумного осаждения тонких пленок, оснащенная прямоугольными магнетронами количеством до четырех или большим количеством небольших круглых магнетронов. С такой конфигурацией магнетронов возможно производить осаждение тонкопленочных структур одновременно с двух сторон без разрыва вакуума. Эта установка способна обрабатывать как подложки неправильной геометрической формы, так и полупроводниковые пластины до 8 дюймов (200 мм). Система предназначена в первую очередь для малосерийного производства высококачественных электронных компонентов или оптики.

• Одна вакуумная камера
• Единовременная обработка до восьми 4-дюймовых (100 мм) подложек
• Не более четырех прямоугольных магнетронов