ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Жидкие процессы литографии

Отправить заявку

Установка нанесения и проявления Microcluster Cabinet MC 204

Описание:

Автоматическая система для нанесения фоторезистивных пленок методом центрифугирования и  проявления пленок, сушка с помощью горячих плит для пластин диаметром до 200 мм или подложек размером 150х150 мм.

Технические данные:

  • Рама и обрабатывающий блок выполнены в едином корпусе из нержавеющей стали
  • Прозрачная стеклянная дверь в зону обработки
  • Двери для обслуживания системы выполнена из нержавеющей стали
  • Регулировка уровня +/- 15 мм
  • Световая колонка для визуализации состояния системы (три цвета)
  • Трех осевой робот ISEL
  • Компьютер для управления технологическим процессом
  • Соответствует стандарту Semi E95-1101
  • Неограниченное количество рецептов
  • USB и интерфейс с доступом в интернета для сохранения данных и внешних соединений
  • Рабочий сенсорный монитор (цветной  22” экран)
  • Программное обеспечение Solar-Semi для записи рецептов и работы системы. (Начало процесса выгрузки первой пластины из кассеты заблокировано до установки всех параметров обработки, таких как температура горячей плиты в соответствии с рецептом).
  • Предусмотрена конструкция для обработки пластин из кассет диаметром 76, 100 и 150 мм.
  • CE маркировка
  • Руководство на русском (USB-флэшка + печать на стандартной бумаге)

 

 

Технические характеристики MC 204:

  • Питающее напряжение: 3 x 400 в / нейтраль/заземление/50 гц/32A
  • Азот: 4.5 ± 0.5 бар
  • CDA сжатый воздух: 8 ± 2 бар
  • Вакуум: -0.8 bar
  • Выхлоп из рабочей зоны: 2 x внешний диаметр 110 мм, 50-180 м3/час *
  • Выхлоп от горячей плиты: 2 x внешний диаметр 110 мм, 50-180 м3/час*
  • Выхлоп из камеры: 3 x внешний диаметр 140 мм, 50 -280 м3/час
  • Система осушки с системой соединения с обратной стороны.

 

 

Приблизительные размеры MC 204:

Ширина: 1.300 мм Глубина: 1.300 мм  Высота: 2.000 мм

 

 

Модуль нанесения МС204

  • Тигель для процесса (материал PETP) состоит из 3-х частей – легко промывается и обслуживается
  •  Для пластин до 200 мм
  • Процесс с открытым тиглем
  • 5 литровая сливная канистра
  •  Прямоточный двигатель поворота без щеток
  • Охлаждение оси двигателя (опция TCU блок управления температурой)
  • Рабочий тигель со встроенным соплом BS
  • Столик для пластины
  • Штыри подъема пластины

 

 

Электронная распределительная рука

  • Управление посредством сервомоторов
  • Программируемая ось Z с электроприводом
  • Программное обеспечение
  • Программируемые скорость и положение
  • Положение руки програмируется с шагом 0,1 мм
  • Возможность установки до 6 распылительных сопел

 

 

Различные держатели для подложек размером 60х48, 30х48, 30х24 мм, пластин диаметром до 300 мм и другие типы размеров по ТЗ заказчика

 

 

Моторизированная дозирующая шприцевая система MSD 55

  •  Управление поршнем шприца посредством сервомотора
  • Максимальный объем шприца 55 мл
  • Диапазон вязкости до 800 cps
  • Программируемое время распыления (шаг 0.1 мм)
  • Интегрированный отсос
  • Легкое и быстрое соединение носика со соплом подачи

 

 

 

Модуль проявления МС 204

  • Рабочий тигель (материал PP) из 3-х частей – легко очищается и обслуживается для подложек до Ø 200 мм
  • Открытый рабочий тигель
  • Стандартный вакуумный столик
  • Прямоточный бесщеточный двигатель поворота
  • Поднимающиеся штыри для загрузки и выгрузки пластин

 

Ваша заявка принята!