ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1
пн., пт.: с 9:00 до 18:00

+7 (499) 729-77-51 +7 (495) 981-91-69 +7 (499) 479 77 24

Установка ИК-термообработки

Установка ИК-термообработки
Установка ИК-термообработки Установка ИК-термообработкиУстановка ИК-термообработкиУстановка ИК-термообработки
Отправить заявку
 
Установка ИК-термообработки 02СТ изготовлена в соответствии с ЩЦ3.302.001 ТУ.
Установка предназначена для:     
  • 02СТ-170-005 – для сушки, задубливания фоторезиста в среде газообразного азота (сорт 2 ГОСТ 9 293-74) на полупроводниковых пластинах Д=76 – 125 мм., толщиной 0,35 мм.; 
  • 02СТ-170-006 – повторное задубливание фоторезиста в среде газообразного азота (сорт 2 ГОСТ 9 293-74) на полупроводниковых пластинах Д=76 – 125 мм., толщиной 0,35 мм. после их длительного хранения и перед травлением нитрида кремния с использованием сильных травителей.;
  • 02СТ-170-008 – сушка водоэмульсионных фотошаблонов 76 х 76 мм., 102 х 102 мм., 127 х 127 мм.  толщиной 3 мм. после их химической обработки.; 
  • 02СТ-170-009 – сушка и задубливание фоторезиста на металлизированных фотошаблонов 76 х 76 мм., 102 х 102 мм., 127 х 127 мм.  толщиной 3 мм.                                                                                                     
 
 
- Установки могут применяться автономно и в составе линии.
- Установки могут работать при температуре от +20 до 23 ± 0,5°С, относительной влажности воздуха 45-50%.
- При эксплуатации каждая установка должна подключаться к системе вытяжной вентиляции с расходом воздуха не менее 0,014 м3/с.
- Питание установок от сети переменного тока напряжением 389/220 В, частоты 50 Гц.
- Для эксплуатации установок в них необходимо подавать азот газообразный сорт 2 ГОСТ 9293-74 под давлением не более 2,0 кгс/см2.
 
- Размер излучающей поверхности нагревателей каждой из 2-х камер не более 200 х 1170 мм.
- Температура на нагретых наружных поверхностях не более 40 °С.
- Нестабильность скорости конвейера не более 5%.
- Давление допускаемое в пневмосистеме не более 2,0 кгс/см2.
- Расход азота, подаваемого в установки, не более 0,0011 м3/с  давлением не более 2 кгс/см2.
- Основные параметры установки приведены в таблице
 
Наименование параметра Допустимые значения Средства измерения
Диапазон регулирования скорости конвейера, м/мин, не менее 0,05 – 0,33 Секундомер
Диапазон регулирования температуры на обрабатываемом изделии, °С, не менее +60+170 Профилометр
ЩЦМ3.043.072
Разность температуры на обрабатываемом изделии в направлении, перпендикулярном их направлению, на одинаковом расстоянии от входа в камеру, °С 6 Профилометр
ЩЦМ3.043.072
Время выхода установки на режим., мин. 60 Секундомер
Ваша заявка принята!