ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1
пн., пт.: с 9:00 до 18:00

+7 (499) 729-77-51 +7 (495) 981-91-69 +7 (499) 479 77 24

Установка экспонирования ЭМ 576 МЭС

Установка экспонирования ЭМ 576 МЭС
Установка экспонирования ЭМ 576 МЭС
Отправить заявку

 

Установка может применяться автономно .
Установка модернизирована под размер подложек 48х60 мм.

В установке применены принципы совмещения подложки и фотошаблона  под различные технологии. 
Прецизионный манипулятор и специальный микроскоп совмещения позволяют с высокой точностью совмещать изображение фотошаблона и полупроводниковой пластины (подложки).
Специальный осветитель обеспечивает высокую воспроизводимость минимальных элементов изображений ,как при контактном экспонировании, так и при экспонировании с зазором.
Возможность экспонирования с зазором значительно увеличивает срок службы фотошаблонов.
Установка предназначена для ручной загрузки . Устройство управления установки экспонирования ЭМ 576МЭС и блок питания осветителя выполнены на современной элементной базе.
 
Сменные части и принадлежности установки дают возможность использовать полупроводниковые пластины и фотошаблоны разных типоразмеров.
 
2. Основные технические данные и характеристики
 
Погрешность совмещения элементов фотошаблона и полупроводниковой пластины, мкм
 ±0,5
Размер минимального элемента изображения фотошаблона на полупроводниковой пластине, мкм
- при контактном экспонировании без зазора
 
 
 
2,0
 
Неравномерность освещения рабочего поля при экспонировании,  %
На диаметре 105 мм- 6,0%
 
Диапазон перемещения подложки по осям X и Y, мм
± 2,5
Микроскоп МССФ-3
Увеличение от 50 до 225
Тип фотошаблона
окись железа
Размеры фотошаблонов (длина х ширина)
76х76, 102х102 мм
Толщина фотошаблона, мм
2….3
Давление сжатого воздуха, МПа
0,5
 
 
 
Остаточное давление в вакуумной сети, МПа
0,02
Давление в водопроводной сети, МПа
0,05 … 0,1
Электропитание и потребляемая мощность
220/380 В, 50 Гц, 1,2 кВт
Габаритные размеры, мм
1192х1000х1530
Масса, кг
400
Диапазон рабочих длин волн, нм
350-450
Мощность лампы осветителя
ДРШ-350-1 , 350 вт
Загрузка и выгрузка пластин и подложек
Ручная
Материал подложек
Ситалл, поликор
Размеры подложек, мм
 48 х 60, толщина 0,5- 4
Установка изготовлена для эксплуатации в помещениях с классом чистоты и категории микроклимата 1-2-1 по ОСТ 11.050.001-78. Колебания температуры воздуха при рабрте установки не должно превышать ± 0,5ºС
Амплитуда вибрации основания для установок не должна превышать : 5 мкм при частоте до 5 гц;
0,3 мкм при частоте от 5 до 20 гц
Для эксплуатации установки необходимо:
а) подвести сжатый воздух под давлением не менее 8 -10Л4 Па., объемным расходом не менее 2 м3/час.
б) обеспечить подвод приточной вентиляции.
в) питание от сети переменного тока напряжением 220±10% В частоты 50 Гц.
г) подключить форвакуумный насос.
Установка должна иметь систему защиты от вибрации.
 
Ваша заявка принята!