Продукция
- Оборудование на складе
- Нестандартное оборудование
- Оборудование для жидких процессов литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Оборудование для оптической литографии
- Рентгеновское оборудование для контроля
- Оборудование на складе
- Сборочное оборудование и материалы
- Установки для жидких процессов литографии
- Устройства для измерения пластин и толщины пленок
- Оборудование для литографии
- Оборудование для высшей степени очистки газов
- Вакуумное оборудование
- Автоматы для герметизации корпусов
- Установки для изготовления и обработки подложек
- Оборудование для термических процессов
- Ионные имплантеры
- Бинокулярные и стереоскопические микроскопы
- Аппараты для атомно-слоевого осаждения
- Промышленные компрессоры
- Газовые системы
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Установка Easyline S 200 TT с открытой чашей
Описание
Система предназначена для сушки и отмывки пластин и нанесения фоторезиста способом вращения. Подходит для пластин диаметром до Ø 8” (Ø 200 мм) и подложек размером до 6” x 6” (150 мм x 150 мм).
Отличительные особенности:
Центрифуга вращения
Управление через цветной сенсорный дисплей с Windows CE
до 40 программируемых рецептов, с восемью (8) программируемыми отдельными шагами процесса (возможность копирования через USB)
Руководство по эксплуатации на русском, английском или немецком языках в печатном и электронном виде
Возможные процессы:
Нанесение, Травление, Очистка, Отмывка, Сушка.
Технические характеристики:
Напряжение: Udc = 24 / 5A
Скорость: 1-6000 об/мин, регулируемая с шагом до 1 об/мин
Ускорение: 1 - 30 регулируемых шагов (до 7.000 об/сек)
Время шага: 1 до 999.9 секунд в шагах 0,1 сек
Размер платины/подложки: до Ø8” (Ø 200 мм) или 6” x 6” (150 x 150 мм)
Материал центрифуги: полипропилен
Вакуум: -0,8 бара
Возможно соединение с емкостью для отработанной жидкости
Размеры системы (Ш x Д x В): 340 x 450 x 300 мм
Возможные опции:
|
|
Кольцо-держатель для форсунок
|
|
Различные держатели для подложек размером 60х48, 30х48, 30х24 мм, пластин диаметром до 300 мм и другие типы размеров по ТЗ заказчика
|
|
Шприцевая система |