Установка Easyline S 200 TT с открытой чашей

Описание

Система предназначена для сушки и отмывки пластин и нанесения фоторезиста способом вращения. Подходит для пластин диаметром до Ø 8” (Ø 200 мм) и подложек размером до 6” x 6” (150 мм x 150 мм).

Отличительные особенности:

Центрифуга вращения

Управление через цветной сенсорный дисплей с Windows CE

до 40 программируемых рецептов, с восемью (8) программируемыми отдельными шагами процесса (возможность копирования через USB)

Руководство по эксплуатации на русском, английском или немецком языках в печатном и электронном виде

Возможные процессы:

Нанесение, Травление, Очистка, Отмывка, Сушка.

Технические характеристики:

Напряжение: Udc = 24 / 5A

Скорость: 1-6000 об/мин, регулируемая с шагом до 1 об/мин

Ускорение: 1 - 30 регулируемых шагов (до 7.000 об/сек)

Время шага: 1 до 999.9 секунд в шагах 0,1 сек

Размер платины/подложки: до Ø8” (Ø 200 мм) или 6” x 6” (150 x 150 мм)

Материал центрифуги: полипропилен

Вакуум: -0,8 бара

Возможно соединение с емкостью для отработанной жидкости

Размеры системы (Ш x Д x В): 340 x 450 x 300 мм

Возможные опции: