Главная
Продукция
Зарубежное оборудование
Оборудование для литографии
Установка для нанесения/проявления фоторезиста Quickstep S 200 SMS
Продукция
- Оборудование на складе
- Нестандартное оборудование
- Оборудование для жидких процессов литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Оборудование для оптической литографии
- Рентгеновское оборудование для контроля
- Оборудование на складе
- Сборочное оборудование и материалы
- Установки для жидких процессов литографии
- Устройства для измерения пластин и толщины пленок
- Оборудование для литографии
- Оборудование для высшей степени очистки газов
- Вакуумное оборудование
- Автоматы для герметизации корпусов
- Установки для изготовления и обработки подложек
- Оборудование для термических процессов
- Ионные имплантеры
- Бинокулярные и стереоскопические микроскопы
- Аппараты для атомно-слоевого осаждения
- Промышленные компрессоры
- Газовые системы
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Установка для нанесения/проявления фоторезиста Quickstep S 200 SMS
Отправить заявку
Описание:
Отдельно стоящая установка для нанесения фоторезиста с открытой чашей методом центрифугирования для пластин до 8” (200mm) и подложек до 6” x 6” (150 x 150mm).
Характеристики:
- Отдельно стоящий шкаф со всеми производственными встроенными модулями
- Система центрифугирования с открытой чашей
- Горячая плита, аналогичная HMDS HP но без блока барботажа; Цветной сенсорный дисплей ввода данных для каждой системы
- Интерфейс интернет / флэшка
- Программное обеспечение QS для управление с помощью ПК– для более удобной записи и хранения рецептов
- Руководство на русском языке в печатном и электронном виде
Технические данные:
- Напряжение: 3 x 400В переменого тока/ 50Гц или 3x 208В переменного тока/60Гц
- Подложки размером до 8” (200 мм) или 6” x 6” (150 x 150 мм)
- Давление: Чистый сухой воздух (CDA) 8 ± 2 bar вакуум: -0.8 bar азот (опция): 4.5 ± 0.2 bar
- Выхлоп: с внешним диаметром 110мм, 40м3/час
Центрифуга:
- Скорость вращения: от 1 до 10,000 об в мин с шагом 1 об в мин (зависит от веса и размера подложки)
- Ускорение: от 1 до 50,000 об в мин за сек с шагом 1 об в мин за сек (зависит от веса и размера подложки)
- Время вращения: от 0.1 до 999 сек с шагом 0.1 сек
- Рабочая чаша из полипропилена
- Дренажный танк: 5 литров и датчик перелива
- Требуется электронная распылительная рука для всех дополнительных сопел
- Габаритные размеры: 600х622х1320 мм