Установка для нанесения/проявления фоторезиста Quickstep S 200 SMS

Описание:

Отдельно стоящая установка для нанесения фоторезиста с открытой чашей методом центрифугирования для пластин до  8” (200mm) и подложек до 6” x 6” (150 x 150mm).

Характеристики:

• Отдельно стоящий шкаф со всеми производственными встроенными модулями
• Система центрифугирования с открытой чашей
• Горячая плита, аналогичная  HMDS HP но без блока барботажа; Цветной сенсорный дисплей ввода данных для каждой системы
• Интерфейс интернет / флэшка
• Программное обеспечение QS для управление с помощью ПК– для более удобной записи и хранения рецептов
• Руководство на русском языке в печатном и электронном виде

Технические данные:

• Напряжение: 3 x 400В переменого тока/ 50Гц или 3x 208В переменного тока/60Гц
• Подложки размером до 8” (200 мм) или 6” x 6” (150 x 150 мм)
• Давление: Чистый сухой воздух (CDA) 8 ± 2 bar вакуум: -0.8 bar азот (опция): 4.5 ± 0.2 bar
• Выхлоп: с внешним диаметром  110мм, 40м3/час

Центрифуга:

• Скорость вращения: от 1 до 10,000 об в мин с шагом 1 об в мин (зависит от веса и размера подложки)
• Ускорение: от 1 до 50,000 об в мин за сек с шагом 1 об в мин за сек (зависит от веса и размера подложки)
• Время вращения: от 0.1 до 999 сек с шагом 0.1 сек
• Рабочая чаша из полипропилена
• Дренажный танк: 5 литров и датчик перелива
• Требуется электронная распылительная рука для всех дополнительных сопел
• Габаритные размеры: 600х622х1320 мм