ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Для оптической литографии

Отправить заявку

Установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

 
Конфигурация оборудования:
Климатическая камера для стабильных условий работы системы :
- Ламинарный воздушный поток (регулируемая) : 0,3 - 0,5 м / с
- Стабильность температуры : ± 0,1 ° C ( при ± 1 º C нестандартно )
- Качество воздуха: Класс 10 (если чистой комнате класса 100 или лучше)
Гранитное основание с воздушной подушкой для виброизоляции
Оптическая система, включающая высокую отражающую способность зеркал и акустооптических модуляторов в режиме реального времени коррекции луча
Системы видеонаблюдения с макро-и микро-камерами для инспекции подложки, автоматическое выравнивание и измерительные функции
Датчик контроля воздуха в режиме реального времени с автофокусом и динамическим диапазоном 80 мкм
(требуется 5 мм расстояние до края подложки )
Ступенчатая система с линейными двигателями на воздушных подшипниках, управление положением по интерферометру, и вакуумный присос для различных размеров подложки :
- Максимальный размер подложки: 9"х 9"
- Минимальный размер подложки: 10 х 10 мм ²
- Максимальная площадь записи: 200 х 200 мм ²
- Толщина подложки: от 0 до 6 мм
- Разрешение интерферометра: 10 нм
Система управления и программного обеспечения для контроля процесса в реальном времени (Mac OS 9 ) для интерферометра, стадии и системы автофокусировки и оборудованием обработки изображений
Два современных компьютера для управления системой (MS Windows) и преобразования данных (Linux)
Программное обеспечение для преобразования DXF , CIF, GDSII и Gerber файлов
Диодный лазер (405 нм)
Для обработки стандартного позитивного фоторезиста
- Длина волны лазера: 405 нм
- Выходная мощность: 300 мВт
- Средний срок службы: 8000 часов
- Гарантия: 5000 часов или до одного года
Модель III для написания топологии размером: от 1 мкм
Ваша заявка принята!