ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Жидкие процессы литографии

Отправить заявку

Установка Quickstep 200 SM с открытой чашей и встроенной печкой

Описание

Система нанесения Quickstep 200 SM предназначена для пластин диаметром до Ø 12” (Ø 300 мм) подложек размером  до 9”x 9” (225 x 225 мм) для традиционного нанесения с открытой чашей.

Технологические особенности:

  • Единая система со всеми модулями процесса
  • Чаша процесса и кольца сделаны из полипропилена 
  • Датчик контролирует уровень расхода химической емкости
  • Система центрифуги с открытой чашей
  • Цветной дисплей с сенсорным управлением
  • Программируемые параметры процесса
  • Вытяжка регулируемая в ручную
  • Неограниченное число рецептов и шагов рецептов
  • Время шага рецепта 0,1 … 999.9 секунд
  • Интерфейс Ethernet / выход USB
  • Прямой ведомый бесщеточный двигатель центрифуги 
  • Частота вращения двигателя 1 … 10.000 оборотов в минуту
  • Моторное линейное ускорение 1 … 50.000rpm/sec ²
  • Программное обеспечение QS управления для PC / Портативный компьютер - для более удобного письма рецепта и хранения
  • Печь Quickstep QS-H 200 с подъемными штырями для пластин от 4” до 12”
    Диапазон температуры до 300°C              
    Точность температуры: +/-1°C на 100°C
  • Документация на английском языке (CD-ROM и стандартная бумага)

Общие Технические Данные:

  • Напряжение: 3x400VAC / 50 Гц или 3x208VAC / 60 Гц / 16A
  • Размер образцов: до Ø 12” (Ø 300 мм) или 9” x 9” (225 x 225 мм)
  • Давление: Чистый сухой воздух (CDA) 8 ± 2 бара
  • Вакуум: -0.8 бара
  • Азот  (Дополнительно): 4.5 бара
  • Габаритные размеры: (Ш x Д x В) 1200 x 650 x 1320 мм

Возможные опции:

 

 

Электронная распределительная рука

  • Управление посредством сервомоторов
  • Программируемая ось Z с электроприводом
  • Программное обеспечение
  • Программируемые скорость и положение
  • Возможность установки до 6 распылительных сопел

Различные держатели для подложек размером 60х48, 30х48, 30х24 мм, пластин диаметром до 300 мм и другие типы размеров по ТЗ заказчика

 

 

Моторизированная дозирующая шприцевая система MSD 55

  • Управление поршнем шприца посредством сервомотора
  • Максимальный объем шприца 55 мл
  • Диапазон вязкости до 800 cps
  • Программируемое время распыления (шаг 0.1 мм)
  • Интегрированный отсос
  • Легкое и быстрое соединение носика со соплом подачи

 

 

 

Модуль нанесения RCCT (Rotated Covered Chuck Technology)

  • Отсутствие турбулентности означает отсутствие брызг на крышку, что обеспечивает покрытие без загрязнения 
  • Технологическая чаша имеет очищающие сопла Вентури, снижающие увеличение отходов технологического процесса
  • С тефлоновым покрытием внутренней поверхности для легкой периодической очистки 
  • Динамическая система балансировки (патент) устраняет вибрацию подложки, для обеспечения лучшей однородности и управления технологическим процессом
  • Отсутствие эффектов углового вращения
  • Отсутствие контаминации резиста на  вращающей крышке

Равномерность покрытия

 

с открытой чашей

 

с модулем RCCT

Ваша заявка принята!