ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Измерительное

Отправить заявку

SemDex 151-11

Система разработана для контроля качества пластин. Это компактное настольное устройство оборудовано сенсором и моторизованным вращающимся основанием  и интегрированным координатным столиком Х для быстрых бесконтактных измерений на подложках диметром до 300 мм.

Интегрированный сенсор StraDexf может измерять толщину пластин, изгиб/коробление с точностью доли микрометра при однократном измерительном проходе. Интуитивное программное обеспечение WaferSpect обеспечивает планирование измерений с помощью рецептур, их выполнение, включая обработку данных, хранение и передачу информации.

Ручная загрузка пластин до 150 мм диаметром.
  • Автоматическое измерение (толщина подложки/слоя, изгиб/коробление); 
  • Стол: линейное перемещение с вращением;
  • Интегрированный верхний сенсор: StraDex f24 – 300;
  • Автофокус есть: a) верхний сенсор (прецизионные подшипники);
  • Оптическая длина волны: StraDex f24 - 300: 1300 nm (мин. толщина для кремния – 10 µm)
  • 1 калибровочная кремниевая пластина (123 µm) встроенная в столик;
  • Внешний ноутбук.
Техническая спецификация:
Сенсорная система с сенсорной головкой StraDex:
StraDex f24 - 300:
  • Размер пятна: 24 мкм;
  • Диапазон автофокуса: 24 - 44 мм;
  • Максимальное коробление: 1.5 мм;
  • Макс. скорость сбора данных (быстрый режим): 4 кГц;
  • Толщина (кремний): 8 - 350 мкм (быстрый режим) 10 - 800 мкм (медленный режим);
  • Толщина (стекло, полимер): 14 - 750 мкм (быстрый режим) 14 - 1000 мкм (медленный режим);
  • Скорость сбора данных: < 4 кГц;
Условия точности и воспроизводимости:
  • Шероховатость поверхности Rz< 0.1 мкм;
  • Доверительный интервал: 2 сигмы.
 
Система поддержки пластины (комбинация линейного и вращательного перемещения):
Линейный столик:
  • Макс. Поле обработки х/у: 150х150 мм2
  • Макс. скорость: 30 мм/с;
  • Боковое отклонение: 2 мкм;
  • Макс. диапазон воспроизводимого перемещения по высоте 2 мкм.
 
Металлический патрон для измерения без рамных пластин  2 ", 4" и 6 " и рамочные адаптеры пластин для монтажа специальных объектов к патрону.
Общее:
  • Произвольное позиционирование с клавиатуры;
  • Воздушно амортизированные ножки (не антивибрационный стол);
  • Интерфейс: LAN (связь с внешней сетью возможна);
  • Размеры примерные без монитора: 560 (ширина) x 1000 (высота) x 600 (глубина) мм3
  • Вес: около 100 кг;
  • Температура: 10-35°C;
  • Электропитание: 100-240 V, 50-60 Hz.
Программа WaferSpect V3 / 4

Генерирование рецептов
  • Мастер, включающий перечень обычных материалов с их коэффициентами преломления;
  • Схема сканирования: свободное программирование одной точки, линии в списке точек х и у, прямоугольная область;
  • Репликация основного образца проверки через список точек;
  • Изображение поверхности с камеры с интерактивным выбором измеряемых точек;
  • Поверхностное изображение с камеры с видом интерактивного выбора измеряемого образца
  • Ручное управление мышью или кнопками курсора;
  • Опция: модуль распознавания
  • Быстрый набор кнопок для быстрого доступа к рецептам, базе данных и экспорту данных
  • Скоростные звонковые диски для быстрого выбора рецептуры из списка, поиска данных и передачи
  • Собственный формат файлов, включающих экранные отчеты, рецептуры и полные комплекты данных измерений;
  • Ручное и автоматическое сохранение результатов измерений;
  • Ручной и автоматический экспорт ASCII и  Excel файлов данных по визуализации измерений;
  • Толщина слоев, поверхности межслоевых границ,  интенсивность отражения и др;
  • Индивидуально настраиваемые экранные отчеты, состоящие из изображений текстовых строк, 1D-графов, 2D-псевдоцветных изображений или интерактивных 3D реконструкций;
 
Выводимые расчетные параметры:
  • Конфигурируемая цепочка фильтров для постобработки данных;
  • Мин., Макс, TTV, Стандартное отклонение;
  • Прогиб, коробление;
  • Все стандартные параметры шероховатости: Ra, Rz, Rq, Rt etc.
  • 3D-топографические данные: высота, радиус, критические размеры (CD), расстояние и др. Проверка состояния системы;
  • Проверка абсолютной точности и воспроизводимости.
Ваша заявка принята!