Система четырехточечного зондового измерения RMS-EL

Комплектация и технические характеристики

Multiheight Probe – Предметный стол-основание с механизмом перемещения по высоте и цилиндрической измерительной головкой - автоматическое перемещение по оси Z (опция).

Multiposition Stage – Предметный стол с точной регулировкой по оси X 

• Изменяемая высота, чтобы измерять образцы от тонких слоев до слитков.
• Уровень работы измеряющей головы с переключаемым током, чтобы предотвратить замыкание.
• Образцы измерения высотой до 200 мм.
• Ширина образца, ограничена только размером рабочего столика.

Источник постоянного тока и цифровой вольтметр RM3000

Вырабатывает постоянный ток между 10nA и 99.99mA, и измеряет напряжения от 0.01mV до 1250 милливольт.

Диапазон измерения:

1 мОм/□ до 500 МОм/□ (поверхностное сопротивление), где □ – площадь пленочного резистора квадратной формы любых размеров.

1 мОм*см до 1 Мом*см (объёмное удельное сопротивление)

Единица измерения: мВ, Ом/площадь, Ом*см

Встроенная память: 50 показаний

Программное обеспечение: для операции и чтения результатов поставляется бесплатно

Автодиапазон: определяет соответствующие текущие параметры настройки

Ток: обратимый для проверки хороших контактов и измерений

Точность: 0.3 %, самая высокая точность 0,1 % 

Возможность введение данных по толщине подложки и интервал измерений.

Соединение: USB или RS-232