Главная Продукция Зарубежное оборудование Устройства для измерения пластин и толщины пленок Система четырехточечного зондового измерения RMS-EL-Z

Продукция

Российское оборудование

Зарубежное оборудование

Каталог оборудования АО «НПП «ЭСТО»

Каталог продукции Fujikin

Презентация оборудования KLOE

Система четырехточечного зондового измерения RMS-EL-Z

Комплектация и технические характеристики

Multiheight Probe – Предметный стол-основание с механизмом перемещения по высоте и цилиндрической измерительной головкой - автоматическое перемещение по оси Z (опция).

Multiposition Stage – Предметный стол с точной регулировкой по оси X

Изменяемая высота, чтобы измерять образцы от тонких слоев до слитков.
Уровень работы измеряющей головы с переключаемым током, чтобы предотвратить замыкание.
Образцы измерения высотой до 200 мм.
Ширина образца, ограничена только размером рабочего столика.

Источник постоянного тока и цифровой вольтметр RM3000

Вырабатывает постоянный ток между 10nA и 99.99mA, и измеряет напряжения от 0.01mV до 1250 милливольт.

Диапазон измерения:

1 мОм/□ до 500 МОм/□ (поверхностное сопротивление), где □ – площадь пленочного резистора квадратной формы любых размеров.

1 мОм*см до 1 Мом*см (объёмное удельное сопротивление)

Единица измерения: мВ, Ом/площадь, Ом*см

Встроенная память: 50 показаний

Программное обеспечение: для операции и чтения результатов поставляется бесплатно

Автодиапазон: определяет соответствующие текущие параметры настройки

Ток: обратимый для проверки хороших контактов и измерений

Точность: 0.3 %, самая высокая точность 0,1 %

Возможность введение данных по толщине подложки и интервал измерений.

Соединение: USB или RS-232

Реестр поставок системы четырех-зондвого измерения сопротивления

Jandel RMS-EL-Z

Год поставки	Предприятие заказчик
2010	ОАО «ФНПЦ «ННИИРТ»
2011	ЗАО «Элпресс»
2011	ОАО «ИЭМЗ «Купол»
2011	ФГУП «КЗРТА»
2011	ФГУП «НПП «Восток»
2011	ФГБОУ ВПО «ЧГУ им.И.Н. Ульянова»
2012	ОАО «ОКБ-Планета»
2012	ООО «ЦЕНТРРЕГИОНСТРОЙ»
2012	ЗАО «Нанотех-Трейд»
2012	ЗАО «ВЗПП-Микрон»
2012	ОАО «Гос.Рязанский прибор.завод»
2012	ОАО «НПП «Радар ммс»
2012	ОАО «НПО НИИИП-НЗиК»
2013	ООО"Премьер"
2013	ФГУП "НПП "Исток"
2013	ООО "ЭСТО-Вакуум"
2013	ЗАО «Торговый Дом «Научное оборудование»
2013	ОАО «Корпорация «Комета»
2013	ООО «ДальАналит»
2013	ОАО «НПП «Завод Искра»
2013	ДООО «Ижевский радиозавод»
2013	ФКП «НТИИМ»
2013	ОАО «НИИЭТ»
2014	ООО "СОЛЭКС-С"
2014	ОАО "НПО НИИИП-НЗиК"
2014	ООО "УЦТТ"
2014	ОАО "НИИЭП"
2014	Московский физико-математический институт
2014	ИОФ РАН
2015	ОАО «Корпорация «Комета»
2015	АО «НПО «Радиоэлектроника» им. В.И. Шимко
2015	ОАО «РКБ «Глобус»
2016	АО «ММЗ»
2016	ПАО «НПО «Стрела»
2016	АО «НИИ «Экран»
2017	АО "НИИП имени В.В. Тихомирова"
2017	ФГУП "Уральский электромеханический завод"
2017	АО "ЦНИИ Электрон"
2018	АО "КОНЦЕРН ВКО "АЛМАЗ - АНТЕЙ"
2018	ФГУП «НПЦАП»
2018	ФГБОУ ВО "ТГТУ"