ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Вакуумное

Отправить заявку

SIH-300RD

Система распыления SIH-300RD 

  • Компактный размер системы
  • Зоны осаждения: 300х300 мм
  • Количество катода: 3 комплекта
  • Опция: Нагрев / травление
  • Операционная система: GPCS-1005 (ULVAC стандарт + PC)

 

 

 

 

 

Основные характеристики

Наименование
Описание
Производительность вакуумной системы
Предельное остаточное давление в SP CH: 1,3 × 10-4Pa или лучше
Время откачки: в течение 10 мин при 67Pa
Производительность системы напыления
Эффективная площадь осаждения: 300×300мм с однородностью  ± 5%. Давление на выходе: 0,4 ~ 1.3Pa (подача газа Ar)
Нагрев
Максимальная температура нагрева 200 0С

Схема внутренней конструкции
 
 
Система SIH-300RD. Вид сверху

 
Система SIH-300RD. Вид сбоку
 
Ваша заявка принята!