ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Измерительное

Отправить заявку

Proforma 300

Преимущества ProformaTM  - полное соответствие прибора для измерения пластин большинства размеров и материалов:

  • измеряет Si, Ge, InP, GaAs без калибровки
  • эксклюзивная технология сенсоров компании MTII типа Push/PullTM 
  • выдающаяся точность и повторяемость результатов
  • соответствие измерений стандартам SEMI и ASTM 
  • ручная и полуавтоматическая системы
  • программное обеспечение на базе MS Windows® 
  • программное обеспечение адаптируется к задаче
  • дистанционный мониторинг и анализ данных
  • прибор для измерения подложек диаметром 75-300 мм
  • дизайн соответствует стандартам Semi S2 и S8 

Программное обеспечение на основе Windows® - для быстрого легко доступного управления параметрами измерений (см. рисунок).

3-х мерное представление толщины и вида пластины (см. рисунок).

ProformaTM 300 – ручной измерительный прибор

Быстро, точно и надежно ProformaTM 300 измеряет пластины до 300 мм в диаметре для получения толщины, разнотолщинности (TTV) и прогиба.

Значения толщины, TTV и прогиба получаются путем размещения пластины между запатентованными компанией MTII бесконтактными емкостными зондами. Покрытый тефлоном столик для пластины позволяет легко без повреждения расположить пластину, в то время как подвижные подымающиеся штыри могут быть использованы для точного центрирования пластины.

Результаты измерений выводятся на жидкокристаллический дисплей высокого разрешения. Порт RS-232 служит для вывода на персональный компьютер данных для мониторинга и управления.

Портативный и легко устанавливаемый прибор ProformaTM 300

Служит потребителю, как бесконтактный измеритель параметров критических точек пластины в производственном процессе.

Прибор ProformaTM 300i полностью управляется с помощью меню.

Бортовое устройство обеспечивает быстрые, точные, повторяемые  измерения для всех типов материалов пластин. Максимальный диапазон измерений или максимальный зазор между зондом и пластиной также могут быть отрегулированы по вашим специальным требованиям.

Дополнительные кольца для пластин могут быть поставлены для подъема пластин 3”, 4”, 5”, 6” и 8” над тефлоновым столом.

Это позволяет не только измерять прогиб, но также исключает контакт между пластиной и столом, обеспечивая дополнительную защиту пластины. Пластины, установленные на ленту для шлифовки тыльной поверхности,  или на другой носитель, могут быть измерены с помощью эксклюзивной калибровочной процедуры MTII, а процесс не займет и 15 секунд.

  • Диаметры пластин 50-300 мм
  • Высокое разрешение LCD дисплея
  • Управление с помощью меню для быстрой и простой установки
  • Измерения TTV и прогиба в 5 точках
  • Интерфейс RS-232 с компьютером
  • Английские и метрические единицы
  • Дистанционная работа и мониторинг
  • Тефлоновая подставка для пластин
  • Бортовой микропроцессор
  • Измеряемый диапазон до 1700 мкм
Ваша заявка принята!