ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Для изготовления и обработки подложек

Отправить заявку

Полуавтоматическая прецизионная установка шлифования пластин MPS R400DS

Серия установок MPS R400 была сконструирована с использованием последних разработок в области технологии шлифования и эргономики. Полностью защищенная рабочая зона удовлетворяет всем условиям окружающей среды для работы оператора и снижает риск загрязнений рабочей области. Данный принцип был разработан и усовершенствован для максимальной точности обработки металлов, кремния и других полупроводниковых материалов в условиях мелкосерийного производства и научно-исследовательских работах.

В основном установка MPS R400DS применяется для шлифовки пластин из кремния и арсенида галлия диаметром от 50 мм до 150 мм.

Технические характеристики:
  • Два шлифовальных круга на одном шпинделе
  • Не требуется смена кругов для чернового и чистового шлифования
  • Полностью закрытая рабочая зона
  • Алмазные шлифовальные круги
  • Программируемый логический контроллер
  • Блок измерительных приборов
  • Автоматические программы
  • Вакуумные держатели
Двигатель 3.7 кВт
Скорость шпинделя 2850 об/мин
Общая мощность 5,5 кВт
Точность 2 мкм
Шлифовальный круг 200х34х76 мм
Вращающийся стол 400 мм
Скорость вращения стола 0-30 об/мин
Вакуумные держатели 28x2”, 16x3”, 8x4”, 5x5”, 4x6”

Подача

Диапазон

Минимальный шаг

 

170 мм

1 мкм

Вес 980 кг
Занимаемая площадь 1550х1130 мм

 

Ваша заявка принята!