ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Вакуумное

Отправить заявку

NE-550

Особенности:

  • Плазма высокой плотности, высокой однородности, наименьший урон

ISM источник (патент ULVAC)

  • Высокая повторяемость и стабильность

Звёздный электрод (патент ULVAC) и Система нагрева

  • Улучшенный контроль температуры подложки

Система механического прижима с охлаждением Не 

  • Легкое и быстрое обслуживание

Система подъема камеры и простые внутренние модули системы

  • Высокая производительность и система транспортировки

Лоток 200 мм

  • Компактность

 

 

 

 

 

 

Лоток для травления GaN.

Лоток для травления Сапфира.

 
Особенности магнетрона ISM 
 
Звёздный электрод.
 
 
Реализуемые процессы.
 

 

Приборы
Процессы
ULVAC
Электроника
HEMT
HBT
MMIC
FeRAM
GaAs/AlGaAs селективное травление
InGaAs, InGaP, InP
Изолирующие слои (SiO2, SiN) высокая скорость без повреждения
Полиимид, BCB, Low-
GaAs VIA, InP VIA, SiC VIA
Gate-metalW, Wsi, TiW, Mo
PZT/P, STO/P, BST/P, SBT/Pt, Ir, IrO
Au/Pt/Ti
TiN, Ta
Оптика
LD
LED
GaAs/AlGaAs без селективного травления
AlGaInP, InAlAs, InP
GaN, AlGaN, InGaN, AlN
ITO
Сапфир
Другие
МЭМС
Силовые приборы
Кремний
Стекло (Кварц, сапфир)
С (Карбон, Алмаз), Cr, Mo,
Al, AlSi, Ni
SiO2, Поли-Si
SiC
 
Серия СЕ,NE.
Технические характеристики.

 
CE-L,CE-S
NE-550
NE-5700
NE-7800
Конфигурация системы
L/UL for R&D,
L/UL for R&D, пилотные проекты
Маленькое производство
Массовое производство
Рынок
III-V Соединение, МЭМС, FRAM, органические пленки
Процесс С/Н
1
1
1 или 2
1 или 2
Размер пластин (мм)
50-150
50-230
Газовый процесс
Макс. 4+2 (хлора)
Макс. 8 линий (включая 3 линии хлора)
Процесс С/Н
800 л/сек  +РП
1300 л/сек +ДРП
L/UL C/H
RP
DRP(HR-60)
Охлаждение подложек
ESC+He (Опция)
ESC или Механический клапан + охлаждение He
Система загрузки
Ручное по двум осям
Трёх осевой робот
Управление
PC+PLC
Холодильная установка
Выбирается в диапазоне от -20 до +200
ВЧ мощность в антенне
1000 Вт (13.56 MГц)
мощность ВЧ смещения
300 Вт (12.5 MГц)
Ваша заявка принята!