ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Измерительное

Отправить заявку

MX 203-6-41-q

MX 203-6-41-q является измерительным прибором с ручной загрузкой пластины для измерения геометрии полупроводников пластин размером до 156x156 мм². Это оборудование предназначено, чтобы контролировать толщину и геометрию пластин.
Как и в других измерительных приборах компании Е+Н Metrology, здесь применена технология бесконтактного измерения с помощью ёмкостных датчиков.
Чистое время измерения одной пластины составляет 8 сек. Полный цикл измерения с ручной загрузкой и выгрузкой пластины оператором занимает приблизительно 20 сек.
 
Измерительная станция
Измерительная станция состоит из верхней и нижней измерительных головок. Каждая измерительная голова состоит из плоской пластины, в которую помещены 41 емкостных датчика, таким образом, как показано на рисунке. Пластины с датчиками установлены горизонтально и параллельно друг к другу. Расстояния между каждой парой датчиков получены простой калибровкой с помощью калибрующей пластины.
 
Обработка пластины
Пластина помещена на движущуюся каретку и закрывается вручную оператором.
Во время этого движения пластина помещена в воздушный промежуток между двумя измерительными головами.
Оператор поворачивает кнопку на лицевой стороне прибора, и пластина опускается вниз на три точки опоры, установленные на измерительной голове, после этого начинается измерение. После окончания измерения оператор должен повернуть кнопку в исходное положение и вытащить каретку.
 
Принцип измерения
Измерение толщины и деформации выполняется за один цикл.
Во время измерения пластина находится в состоянии покоя, на трёх точках опоры, которые установлены на нижней измерительной головы. Расстояния главных датчиков до верхней поверхности пластины и расстояния от нижних датчиков до задней стороны пластины измерены. Толщина получена, вычитая сумму взвешенных расстояний (top+bottom) от известного расстояния между каждой парой датчиков. Измерение деформации использует кроме того расстояния от основания.
Пластина находится в неподвижном положении во время всего цикла измерения. Это приводит к высокой повторяемости и точности измерений.
 
Технические характеристики
Механические
Общее расстояние между головками ('B'): 2000 μm
Число точек опоры: 21
Высота точек опоры ('C'): 600 μm
Макс. Расстояние действия датчика ('D'): 1500 μm
Пожалуйста, обратите ваше внимание на то, что эти параметры могут быть изменены по требованию заказчика.
 
Пределы измерения в зависимости от размера пластин
Размер пластин (квадрат / псевдоквадрат):     100x100* 125x125* 156x156
Кол-во точек измерения                                           21           33             41
 
Размер пластин (круглые)                                 100мм*   125мм*   150 мм*
Кол-во точек измерения                                           17           25             33
Диапазон коробления                                             80 μm     160 μm    200 μm
Диапазон толщины                                                            160 – 700 μm
Толщина и коробление ('A')                                               макс. 900 μm
 
Характеристики датчиков
Диапазон действия одного датчика                                    1520 μm
Разрешение                                                                             14 bits
 
Точность прибора (при колерованной температуре)
Абсолютная точность по толщине                             ± 0.5 μm (= center thickness)
TTV                                                                                ± (0.3 μm + 2% of reading)
Повторяемость                                                             0.15 μm + 1% of TTV (1
Ваша заявка принята!