Продукция
- Оборудование на складе
- Нестандартное оборудование
- Оборудование для жидких процессов литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Оборудование для оптической литографии
- Рентгеновское оборудование для контроля
- Оборудование на складе
- Сборочное оборудование и материалы
- Установки для жидких процессов литографии
- Устройства для измерения пластин и толщины пленок
- Оборудование для литографии
- Оборудование для высшей степени очистки газов
- Вакуумное оборудование
- Автоматы для герметизации корпусов
- Установки для изготовления и обработки подложек
- Оборудование для термических процессов
- Ионные имплантеры
- Бинокулярные и стереоскопические микроскопы
- Аппараты для атомно-слоевого осаждения
- Промышленные компрессоры
- Газовые системы
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Лазерный станок для ручной подгонки МЛ5-1
Назначение:
Машина лазерная для подгонки резисторов МЛ5-1 (лазерный «триммер» МЛ5-1) предназначена для выполнения операции ручной лазерной подгонки резисторов, выполненных по тонкопленочной или толстопленочной технологии на подложках из поликора, ситалла, керамики.
Позиционирования пятна и выполнение подгоночного реза обеспечивается прецизионной XY кинематической системой (координатный стол или 2-х осевой гальваносканер). Размещение и фиксация подложки осуществляется на предметном столе.
В машине МЛ5-1 используется режим с одноканальным измерением, зонды устанавливает оператор, управление перемещением пятна осуществляется оператором вручную с помощью джойстика-манипулятора.
В машине используется иттербиевый волоконный лазер нового поколения.
Измерения обеспечиваются развязанной от всех блоков Цифровой Измерительной Системой (ЦИС), выполненной на основе 14-разрядного АЦП и сигнального процессора для скоростной цифровой первичной обработки. Прикладное программное обеспечение (ПО) работает в среде Windows XP и позволяет осуществлять измерение и подгонку, загрузку, обработку и выполнение файлов-заданий (целевые номиналы резисторов и допуски, технологические параметры для лазера и сканера) и обеспечивает распечатку Протокола-отчета по подгонке в заданном формате, осуществляет контроль и самодиагностику системы в процессе работы.
Машина снабжена механизмами ручной подстройки положения подложки относительно лазерного пятна.
Состав:
- Виброустойчивый каркас для установки кинематической системы, предметного стола, зондов и лазерного излучателя
- Предметный стол с элементами фиксации и подстройки положения подложки (изделия, ГИС)
- Оптическая система с ТВ камерой визуального контроля
- Иттербиевый волоконный лазер с диодной накачкой
- Управляемая от компьютера кинематическая система
- Блоки питания и управления машины
- Цифровая измерительная система (ЦИС)
- Компьютер управляющий в конфигурации МЛ-5 с ЖКИ-монитором
- Многоканальная система регулируемого освещения
- Прикладное ПО МЛ5-1 (Программа прецизионной подгонки)
Технические характеристики:
Технические параметры координатной системы |
|
Диапазон сопротивлений подгоняемых резисторов, Ом. |
1,0-107 |
Допускаемая дополнительная погрешность (ДДП) измерений, вызванная изменением напряжения питания на ±10% от номинала |
не превышает ДОП в выбранном диапазоне |
Максимальное обрабатываемое рабочее поле (макс. размер подложки) |
до 60х50 мм |
Скорость перемещения луча (линейная, при f=160 мм) |
|
Расчетный шаг перемещения (для f=160 мм), мкм |
1,0 |
Геометрия (задаваемая траектория реза) при автоматической подгонке |
I, L, J, W |
Параметры цифровой измерительной системы |
|
Разрядность АЦП |
14 бит |
Диапазон входных сигналов (переключаемый) |
±10В…±0.15625В |
Типы входов |
дифференциальные |
Максимальная частота преобразования |
400 кГц |
Интегральная и дифференциальная нелинейность |
макс. ±1.5 МЗР |
Параметры оптической системы |
|
Фокусное расстояние базового объектива, мм |
160 |
Размер пятна излучения в зоне обработки, мкм |
20-40 (зависит от материала) |
Параметры лазерного излучателя |
|
Тип лазера |
Иттербиевый волоконный |
Длина волны излучения, мкм |
1.06-1.07 |
Мощность излучения, Вт |
0,1-10 |
Частота модуляции, кГц |
20–50 |