Главная Продукция Российское оборудование Лазерное оборудование Лазерный станок для ручной подгонки МЛ5-1

Продукция

Российское оборудование

Зарубежное оборудование

Каталог оборудования АО «НПП «ЭСТО»

Каталог продукции Fujikin

Презентация оборудования KLOE

Лазерный станок для ручной подгонки МЛ5-1

Назначение:

Машина лазерная для подгонки резисторов МЛ5-1 (лазерный «триммер» МЛ5-1) предназначена для выполнения операции ручной лазерной подгонки резисторов, выполненных по тонкопленочной или толстопленочной технологии на подложках из поликора, ситалла, керамики.

Позиционирования пятна и выполнение подгоночного реза обеспечивается прецизионной XY кинематической системой (координатный стол или 2-х осевой гальваносканер). Размещение и фиксация подложки осуществляется на предметном столе.

В машине МЛ5-1 используется режим с одноканальным измерением, зонды устанавливает оператор, управление перемещением пятна осуществляется оператором вручную с помощью джойстика-манипулятора.

В машине используется иттербиевый волоконный лазер нового поколения.

Измерения обеспечиваются развязанной от всех блоков Цифровой Измерительной Системой (ЦИС), выполненной на основе 14-разрядного АЦП и сигнального процессора для скоростной цифровой первичной обработки. Прикладное программное обеспечение (ПО) работает в среде Windows XP и позволяет осуществлять измерение и подгонку, загрузку, обработку и выполнение файлов-заданий (целевые номиналы резисторов и допуски, технологические параметры для лазера и сканера) и обеспечивает распечатку Протокола-отчета по подгонке в заданном формате, осуществляет контроль и самодиагностику системы в процессе работы.

Машина снабжена механизмами ручной подстройки положения подложки относительно лазерного пятна.

Состав:

Виброустойчивый каркас для установки кинематической системы, предметного стола, зондов и лазерного излучателя
Предметный стол с элементами фиксации и подстройки положения подложки (изделия, ГИС)
Оптическая система с ТВ камерой визуального контроля
Иттербиевый волоконный лазер с диодной накачкой
Управляемая от компьютера кинематическая система
Блоки питания и управления машины
Цифровая измерительная система (ЦИС)
Компьютер управляющий в конфигурации МЛ-5 с ЖКИ-монитором
Многоканальная система регулируемого освещения
Прикладное ПО МЛ5-1 (Программа прецизионной подгонки)

Технические характеристики:

Технические параметры координатной системы
Диапазон сопротивлений подгоняемых резисторов, Ом^. Допускаемая основная погрешность контроля резистора R_x (ДОП) при подгонке, %: в диапазоне 1,0…9,99 Ом, %, не хуже в диапазоне 10…9,99×10⁴ Ом, %, не хуже в диапазоне 1х10⁵…9,99×10⁵ Ом, %, не хуже в диапазоне 1х10⁶…9,99х10⁶ Ом, %, не хуже	1,0-10⁷ _. ±[0.1+0.02(R/R_x-1)] ±[0.1+0.005(R/R_x-1)]^. ±[0.1+0.01(R/R_x-1)]^. ±[0.3+0.02(R/R_x-1)]
Допускаемая дополнительная погрешность (ДДП) измерений, вызванная изменением напряжения питания на ±10% от номинала	не превышает ДОП в выбранном диапазоне
Максимальное обрабатываемое рабочее поле (макс. размер подложки)	до 60х50 мм
Скорость перемещения луча (линейная, при f=160 мм) - мин/макс, мм/сек - номинальная при подгонке или просмотре, мм/сек	0,01-400 0,1-100
Расчетный шаг перемещения (для f=160 мм), мкм	1,0
Геометрия (задаваемая траектория реза) при автоматической подгонке	I, L, J, W
Параметры цифровой измерительной системы
Разрядность АЦП	14 бит
Диапазон входных сигналов (переключаемый)	±10В…±0.15625В
Типы входов	дифференциальные
Максимальная частота преобразования	400 кГц
Интегральная и дифференциальная нелинейность	макс. ±1.5 МЗР
Параметры оптической системы
Фокусное расстояние базового объектива, мм	160
Размер пятна излучения в зоне обработки, мкм	20-40 (зависит от материала)
Параметры лазерного излучателя
Тип лазера	Иттербиевый волоконный
Длина волны излучения, мкм	1.06-1.07
Мощность излучения, Вт	0,1-10
Частота модуляции, кГц	20–50