Продукция
- Оборудование на складе
- Нестандартное оборудование
- Оборудование для жидких процессов литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Оборудование для оптической литографии
- Рентгеновское оборудование для контроля
- Оборудование на складе
- Сборочное оборудование и материалы
- Установки для жидких процессов литографии
- Устройства для измерения пластин и толщины пленок
- Оборудование для литографии
- Оборудование для высшей степени очистки газов
- Вакуумное оборудование
- Автоматы для герметизации корпусов
- Установки для изготовления и обработки подложек
- Оборудование для термических процессов
- Ионные имплантеры
- Бинокулярные и стереоскопические микроскопы
- Аппараты для атомно-слоевого осаждения
- Промышленные компрессоры
- Газовые системы
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Лазерные аппараты МЛ1-1, МЛ1-12
Параметры лазера |
|
Длина волны излучения, мкм |
1,064 |
Частота следования импульсов излучения, Гц |
50-200 |
Длительность импульса: Свободная генерация мсек |
0.2-20 |
Модуляция добротности, нсек |
100-200 |
Средняя мощность излучения (многомодовый режим), Вт |
|
Конструкция предусматривает перенастройку на одномодовый (маломодовый) и многомодовый режимы. |
|
Параметры оптической системы |
|
Фокусное расстояние объективов, мм |
64 (72) |
Размер пятна излучения в зоне обработки, мкм |
40-100 |
Увеличение телевизионной системы, крат |
60-80 |
Технические параметры координатного стола |
|
Рабочий ход стола (Наибольшее перемещение), мм |
|
Разрешающая способность, мм |
2 |
Точность позиционирования, мкм |
10(20) |