Кластерная ALD система PICOSUN™ P-300S

Основные характеристики

Размер подложек и их тип

Одиночные подложки диаметром до 300 мм
3D объекты, напр. сталь, алюминий, пластик, изделия из серебра
Порошки и различные частицы
Микроканальные пластины и подложки, имеющие сквозные поры
Подложки с высоким соотношением сторон (1000:1)

Диапазон рабочих температур процессов

50 – 500 °C

Варианты загрузки образцов

Пневматическая, роботизированный загрузчик

Прекурсоры

Жидкостные, твердотельные, газообразные, озон
Сенсоры уровня, служба очистки и наполнения
До 12 источников с 6 отдельными вводами

Вес и размеры

Вес

350+200 кг

Размеры (Ш x В x Г)

149 см x 191 см x 111 см

Вспомогательные системы

Источник питания

400 VAC, 3-фазное с нейтралью или 200-210V 3 фазы, 50/60 Гц
Предохранители 3 x 16 А
Потребляемая мощность зависит от дополнительного оборудования

Вакуумный насос

Рекомендуемый мин. 420 м³/час, механическая ловушка частиц

Несущий газ

99.999 % N₂ / Ar, мин. 2 стд. л/мин

Сжатый сухой воздух

5 – 6 бар избыточного давления

Охлаждающая вода

Требуется только для сухого вакуумного насоса и генератора озона, не требуется для реактора

Выхлоп

Вакуумный насос, шкафы источников

Дополнительное оборудование

Кластерные инструменты, совместимость со сверхвысоким вакуумом (UHV), модули автоматической загрузки, газоочистные устройства, охладители, генераторы газообразного азота, соединение к ПО производственной линии, совместимость с перчаточным ящиком для загрузки из инертной атмосферы.