Продукция
- Оборудование на складе
- Нестандартное оборудование
- Оборудование для жидких процессов литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Оборудование для оптической литографии
- Оборудование на складе
- Сборочное оборудование и материалы
- Установки для жидких процессов литографии
- Устройства для измерения пластин и толщины пленок
- Оборудование для литографии
- Оборудование для высшей степени очистки газов
- Вакуумное оборудование
- Автоматы для герметизации корпусов
- Установки для изготовления и обработки подложек
- Оборудование для термических процессов
- Ионные имплантеры
- Бинокулярные и стереоскопические микроскопы
- Аппараты для атомно-слоевого осаждения
- Промышленные компрессоры
- Газовые системы
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Кластерная ALD система PICOSUN™ P-300S
PICOSUN™ P-300S кластерная установка включает в себя несколько отдельных P-300S ALD реакторов, соединенных между собой и обслуживающихся с помощью вакуумного роботизированного манипулятора подложек. Такая конструкция позволяет параллельно наносить различные материалы, при этом обработка образцов происходит без прерывания вакуума.
Технические характеристики отдельного PICOSUN P-300S ALD реактора
Основные характеристики |
|
Размер подложек и их тип |
Одиночные подложки диаметром до 300 мм |
Диапазон рабочих температур процессов |
50 – 500 °C |
Варианты загрузки образцов |
Пневматическая, роботизированный загрузчик |
Прекурсоры |
Жидкостные, твердотельные, газообразные, озон |
Вес и размеры |
|
Вес |
350+200 кг |
Размеры (Ш x В x Г) |
149 см x 191 см x 111 см |
Вспомогательные системы |
|
Источник питания |
400 VAC, 3-фазное с нейтралью или 200-210V 3 фазы, 50/60 Гц |
Вакуумный насос |
Рекомендуемый мин. 420 м3/час, механическая ловушка частиц |
Несущий газ |
99.999 % N2 / Ar, мин. 2 стд. л/мин |
Сжатый сухой воздух |
5 – 6 бар избыточного давления |
Охлаждающая вода |
Требуется только для сухого вакуумного насоса и генератора озона, не требуется для реактора |
Выхлоп |
Вакуумный насос, шкафы источников |
Дополнительное оборудование |
|
Кластерные инструменты, совместимость со сверхвысоким вакуумом (UHV), модули автоматической загрузки, газоочистные устройства, охладители, генераторы газообразного азота, соединение к ПО производственной линии, совместимость с перчаточным ящиком для загрузки из инертной атмосферы. |