Продукция
- Нестандартное оборудование
- Оборудование для жидких процессов литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Оборудование для оптической литографии
- Сборочное оборудование и материалы
- Установки для жидких процессов литографии
- Устройства для измерения пластин и толщины пленок
- Оборудование для оптической литографии
- Оборудование для высшей степени очистки газов
- Вакуумное оборудование
- Автоматы для герметизации корпусов
- Установки для изготовления и обработки подложек
- Оборудование для термических процессов
- Ионные имплантеры
- Бинокулярные и стереоскопические микроскопы
- ВЧ-генераторы
- Аппараты для атомно-слоевого осаждения
- Промышленные компрессоры
- Газовые системы
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Для атомно-слоевого осаждения
ALD система PICOSUN R-200
Назначение:Ручной или полуавтоматический технологический процесс для проведения исследований и разработок.
ALD система PICOSUN™ P-300 для атомно-слоевого осаждения
Назначение:Инструменты для атомно-слоевого осаждения P-серии – автоматизированы, позволяют наносить пленки на множество подложек в час, если несколько реакторов P-серии объединены в единый кластерный инструмент с автоматической подачей образцов
Кластерная ALD система PICOSUN™ P-300S
Назначение:Параллельное нанесение различных материалов, при этом обработка образцов происходит без прерывания вакуума.
Аппараты для получения пленок атомно-слоевым осаждением
Метод атомно-слоевого осаждения получил широкое распространение как технологический процесс, который обеспечивает быстрый конформный рост высококачественных тонких пленок на подложках большого размера. Суть метода атомно-слоевого осаждения заключается в раздельной попеременной подаче реагентов к подложке таким образом, что необходимые для роста пленок химические реакции протекают в хемосорбированных слоях, то есть, исключая реакции в газовой фазе.
Применяют атомно-слоевое осаждение для формирования различных оксидных, нитридных и металлических слоев, а также для получения высокоточных многослойных систем и нанокомпозитов. Все это используется в полупроводниковой промышленности и производстве интегральных схем.
Датчики МЭМС
В последнее время широкое распространение получили датчики, которые основаны на микроэлектромеханических системах (МЭМС). МЭМС — это интегрированные системы или микроустройства, которые комбинируют механические и электронные компоненты, изготовленные по современным технологиям, и имеющие размеры от миллиметров до микрометров.
Популярность устройств обуславливается простотой использования, низкой ценой и малыми габаритами. Обратившись в нашу компанию, вы можете приобрести установки для осаждения тонких пленок, нанесения покрытий, применяемых в МЭМС технологиях. У нас широкий ассортимент оборудования и выгодные условия реализации.
