Главная Продукция Зарубежное оборудование Оборудование для термических процессов Диффузионные печи серии 2410, 2610 и 2810

Продукция

Российское оборудование

Зарубежное оборудование

Каталог оборудования АО «НПП «ЭСТО»

Каталог продукции Fujikin

Презентация оборудования KLOE

Диффузионные печи серии 2410, 2610 и 2810

Описание

Печи Thermco 2410, 2610 и 2810 предназначены для лабораторий или небольшого производства. Их отличает более низкая стоимость и уменьшенный размер, однако это никак не отражается на качестве работы и возможностях технологического процесса. Эти модели отражают более чем 30-летний опыт компании Thermco, являющейся ведущим поставщиком печей для производства полупроводников, интегральных микросхем, фотогальванических элементов, светодиодов и наноэлементов. Все модели соответствуют требованиям S2-90 и CE, в том числе в отношении электромагнитной совместимости. Печи оснащены встроенным газовым шкафом для размещения газопроводной системы с ручным ли автоматическим управлением. В упрощенном и бюджетном варианте подложки загружаются вручную с помощью кварцевой лопатки или как дополнение можно заказать загрузочное приспособление. Контроль температуры осуществляется по схеме ведущий/ведомый в 3-х температурных зонах.Модели предназначены для установки на лабораторный стол. На один стол может быть установлено две системы: одна на другую. На моделях можно выполнять все стандартные технологические процессы, применяемые в соответствующей отрасли промышленности, часть из которых указана выше. При этом, кроме небольшой занимаемой площади, данные модели требуют меньше химикатов и энергозатрат по сравнению со стандартными установками.

Свойства:

небольшая занимаемая площадь, при этом флет-зона составляет 254 – 305 мм и позволяет загружать до 50 стандартных подложек или 100, если их уложить задними частями одной к другой
загрузка вручную с помощью кварцевой лопатки или опционально загрузочное приспособление для более чистой загрузки
контроль температуры в трех зонах с конфигурацией контроллеров ведущий/ведомый
управление газом вручную или электронным устройством
высокое качество исполнения и всех без исключения компонентов, качество работы не уступает полномасштабным моделям.

Технологические процессы в атмосфере:

сухое окисление
оксидирование в атмосфере влажного кислорода
отжиг формиргазом
100% H2
сплав
POCl3 (стандартный или PV)
BBr3 (стандартный или PV)
интрузия
другое по требованию

Химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении (необходима система управления PC-MUX):

ортокремнекислый тетраэтил (TEOS)
Азотирование (стандартное или с низким напряжением слоя)
Азотирование (просветленное покрытие для фотогальванических элементов)
Поликристаллический кремний (стабильная температура, аморфный или упорядоченный)
Легированный кремний (типа P или N)
Низкотемпературное окисление
Бор фосфор силикатное стекло (BPSG)
Другое по требование

Объем загрузки подложек

До 50 подложек при технологическом процессе в атмосфере в зависимости от типа процесса и требований единообразия.

Процессы PV с использованием, например, POCl3 и BBr3 – до 50 подложек при размещении задними частями друг к другу.

Поликремний и нитрид – до 25 подложек.

Ортокремнекислый тетраэтил (TEOS), бор фосфор силикатное стекло (BPSG) и низкотемпературное окисление – 15-25 подложек в зависимости от требований единообразия.

Размеры

Размеры

моделей печей 2410, 2610 и 2810 даны без учета модуля газового шкафа, размер которого зависит от сложности газовой системы.

Модель	Длина	Ширина	Высота	Макс. размер трубы	Мощность/труба
2410	1040 мм	750 мм	415 мм	152,4 мм	10 кВА
2610	1250 мм	1000 мм	500 мм	235,0 мм	23 кВА
2810	1300 мм	1000 мм	780 мм	300,0 мм	23 кВА