Продукция
- Оборудование на складе
- Нестандартное оборудование
- Оборудование для жидких процессов литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Оборудование для оптической литографии
- Оборудование на складе
- Сборочное оборудование и материалы
- Установки для жидких процессов литографии
- Устройства для измерения пластин и толщины пленок
- Оборудование для литографии
- Оборудование для высшей степени очистки газов
- Вакуумное оборудование
- Автоматы для герметизации корпусов
- Установки для изготовления и обработки подложек
- Оборудование для термических процессов
- Ионные имплантеры
- Бинокулярные и стереоскопические микроскопы
- Аппараты для атомно-слоевого осаждения
- Промышленные компрессоры
- Газовые системы
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Диффузионные печи серии 2410, 2610 и 2810
Описание
Печи Thermco 2410, 2610 и 2810 предназначены для лабораторий или небольшого производства. Их отличает более низкая стоимость и уменьшенный размер, однако это никак не отражается на качестве работы и возможностях технологического процесса. Эти модели отражают более чем 30-летний опыт компании Thermco, являющейся ведущим поставщиком печей для производства полупроводников, интегральных микросхем, фотогальванических элементов, светодиодов и наноэлементов. Все модели соответствуют требованиям S2-90 и CE, в том числе в отношении электромагнитной совместимости. Печи оснащены встроенным газовым шкафом для размещения газопроводной системы с ручным ли автоматическим управлением. В упрощенном и бюджетном варианте подложки загружаются вручную с помощью кварцевой лопатки или как дополнение можно заказать загрузочное приспособление. Контроль температуры осуществляется по схеме ведущий/ведомый в 3-х температурных зонах.Модели предназначены для установки на лабораторный стол. На один стол может быть установлено две системы: одна на другую. На моделях можно выполнять все стандартные технологические процессы, применяемые в соответствующей отрасли промышленности, часть из которых указана выше. При этом, кроме небольшой занимаемой площади, данные модели требуют меньше химикатов и энергозатрат по сравнению со стандартными установками.
- небольшая занимаемая площадь, при этом флет-зона составляет 254 – 305 мм и позволяет загружать до 50 стандартных подложек или 100, если их уложить задними частями одной к другой
- загрузка вручную с помощью кварцевой лопатки или опционально загрузочное приспособление для более чистой загрузки
- контроль температуры в трех зонах с конфигурацией контроллеров ведущий/ведомый
- управление газом вручную или электронным устройством
- высокое качество исполнения и всех без исключения компонентов, качество работы не уступает полномасштабным моделям.
Технологические процессы в атмосфере:
- сухое окисление
- оксидирование в атмосфере влажного кислорода
- отжиг формиргазом
- 100% H2
- сплав
- POCl3 (стандартный или PV)
- BBr3 (стандартный или PV)
- интрузия
- другое по требованию
Химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении (необходима система управления PC-MUX):
- ортокремнекислый тетраэтил (TEOS)
- Азотирование (стандартное или с низким напряжением слоя)
- Азотирование (просветленное покрытие для фотогальванических элементов)
- Поликристаллический кремний (стабильная температура, аморфный или упорядоченный)
- Легированный кремний (типа P или N)
- Низкотемпературное окисление
- Бор фосфор силикатное стекло (BPSG)
- Другое по требование
Объем загрузки подложек
Модель | Длина | Ширина | Высота | Макс. размер трубы | Мощность/труба |
2410 | 1040 мм | 750 мм | 415 мм | 152,4 мм | 10 кВА |
2610 | 1250 мм | 1000 мм | 500 мм | 235,0 мм | 23 кВА |
2810 | 1300 мм | 1000 мм | 780 мм | 300,0 мм | 23 кВА |