Продукция
- Оборудование на складе
- Нестандартное оборудование
- Оборудование для жидких процессов литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Оборудование для оптической литографии
- Оборудование на складе
- Сборочное оборудование и материалы
- Установки для жидких процессов литографии
- Устройства для измерения пластин и толщины пленок
- Оборудование для литографии
- Оборудование для высшей степени очистки газов
- Вакуумное оборудование
- Автоматы для герметизации корпусов
- Установки для изготовления и обработки подложек
- Оборудование для термических процессов
- Ионные имплантеры
- Бинокулярные и стереоскопические микроскопы
- Аппараты для атомно-слоевого осаждения
- Промышленные компрессоры
- Газовые системы
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Диффузионные печи серии 2400, 2600 и 2800
Область применения
Модели 2400, 2600 и 2800 диффузионных минипечей от компании Thermco могут иметь до четырех рабочих камер и предназначены для производства подложек для полупроводников, фотогальванических элементов, светодиодов, нано и микроэлектромеханических систем диаметром до 200 мм. Модели различаются только размером подложек, которые они могут обрабатывать: в печах модели 2400 можно обрабатывать подложки диаметром до 100 мм, в печах модели 2600 – до 150 мм и в печах модели 2800 можно обрабатывать подложки размером до 200 мм. В каждой камере могут быть размещены технологические трубы диаметром до 251. Основная станина печей совместима со станциями загрузки, камерами источника Thermco и определенными типами компонентов автоматизации, такими как загрузочные механизмы с манипуляторами и транспортерами, подающими лотки в эти загрузочные механизмы. Основная станина печи совместима со всеми загрузочными министанциями и камерами источника серии 2000. Уменьшенное конструктивное исполнение не влияет на качество продукции и оно остается таким же как у полномасштабных производственных систем. При этом, минисистемы занимают меньше места и, соответственно, обладают меньшей производительностью, поэтому они идеально подходят в качестве дополнения к основным производственным мощностям или для лабораторий.
Система управления
Система управления печи построена на базе контроллера Thermco TMX, являющемся лидером в этой отрасли и признанным одним самых гибких и надежных управляющих устройств для печей с тысячами функциональных узлов. Контроллер TMXPC сочетает в себе проверенные рецепты и форматы системы управления прежнего поколения устройств TMX, которые уже хорошо зарекомендовали себя среди пользователей, и улучшенную графическую функциональность на обновленной и очень надежной компьютерной аппаратной базе. Система управления включает один компьютер MUX для генерирования рецептов и просмотра состояния и один управляющий компьютер на каждую трубу.
Разработанные процессы:
- Азотирование кремния (стандартное)
- Азотирование кремния (с пониженным внутренним напряжением)
- Отжиг поликремния с повышением температуры
- Однообразное гранулирование поликремния
- TEOS
- VLTO
- BPSG
- Высокотемпературное окисление (НТО)
- Сухое окисление
- Окисление в атмосфере
- POCI3 или BBr3
- Отжиг водородом (со 100% Н2)
-
Высокотемпературная обработка
-
Сплав или низкотемпературный отжиг
-
Отжиг водородом (со 100% Н2)
Печь | Загрузочная станция | Камера источника |
Длина 1650 мм | Длина 1650 мм | Длина 1403 мм |
Глубина 737 / 1169 / 1469 мм (24/26/28) | Глубина 980 мм | Глубина 914 мм |
Высота 2279 мм (2404) | Высота 1943 мм (2404) | Высота 2259 мм (2404) |
Высота 2650 мм (2604) | Высота 2349 мм (2604) | Высота 2554 мм (2604) |
Высота 2699 мм (2804) | Высота 2699 мм (2804) | Высота 2699 мм (2804) |
- модуль ламинарного потока станции загрузки, модель 5000LS
- механизмы загрузки лотков, модели D1 и D2
- модуль камеры газа/источника, модель 5000SC
- компьютерные модули управления TMX, TMXPC и PCMux
Серии 2400/2600 | 750 - 1250°C (305 мм) 300 - 750°C (254 мм) |
Серия 2800 | 750 - 1250°C (305 мм) 400 - 750°C (254 мм) |
Скорость выхода оборудования в рабочий режим при холодном старте
Средняя скорость выхода в рабочий режим 15°C в минуту.
Скорость охлаждения
Печь охлаждается с 1200 до 900°C линейно со скоростью не менее 3°C в минуту
Долгосрочная стабильность
Стабильность температуры печи +/- 0,25 °C или лучше.
Восстановление
С загрузкой 7500 г стандартная стабильная зона при 900 °C возникает в течение 18 минут
Быстрый отклик
Ступенчатые изменения 100 °C могут быть сделаны без внесения изменений в настройки и с минимальным воздействием на однообразие зоны нагрева.
Взаимодействие между трубами
Воздействие труб друг на друга не более ± 01°C благодаря термопаре с компенсацией спая и уникальной охлаждающей системе прямой конвекции.
Система управления PC-MUX с контроллером периферийных устройств
PC-MUX представляет собой четвертое поколение широко известных контроллеров TMX, которое было разработано в ответ на требования пользователей иметь надежную и многофункциональную систему управления на базе ПК. Основные характеристики:
- графики, отображающие воспроизводимость процесса; - циклограммы процесса с аварийными и предупреждающими сигналами автоматической системы; - совмещение (огибающая) графиков с аварийными и предупреждающими сигналами автоматической системы; - анализ системных событий по методу Парето; - гистограмма системных событий. |
|