Диффузионные печи серии 2400, 2600 и 2800

Область применения

Модели 2400, 2600 и 2800 диффузионных минипечей от компании Thermco могут иметь до четырех рабочих камер и предназначены для производства подложек для полупроводников, фотогальванических элементов, светодиодов, нано и микроэлектромеханических систем диаметром до 200 мм. Модели различаются только размером подложек, которые они могут обрабатывать: в печах модели 2400 можно обрабатывать подложки диаметром до 100 мм, в печах модели 2600 – до 150 мм и в печах модели 2800 можно обрабатывать подложки размером до 200 мм. В каждой камере могут быть размещены технологические трубы диаметром до 251. Основная станина печей совместима со станциями загрузки, камерами источника Thermco и определенными типами компонентов автоматизации, такими как загрузочные механизмы с манипуляторами и транспортерами, подающими лотки в эти загрузочные механизмы. Основная станина печи совместима со всеми загрузочными министанциями и камерами источника серии 2000. Уменьшенное конструктивное исполнение не влияет на качество продукции и оно остается таким же как у полномасштабных производственных систем. При этом, минисистемы занимают меньше места и, соответственно, обладают меньшей производительностью, поэтому они идеально подходят в качестве дополнения к основным производственным мощностям или для лабораторий. 

Система управления

Система управления печи построена на базе контроллера Thermco TMX, являющемся лидером в этой отрасли и признанным одним самых гибких и надежных управляющих устройств для печей с тысячами функциональных узлов. Контроллер TMXPC сочетает в себе проверенные рецепты и форматы системы управления прежнего поколения устройств TMX, которые уже хорошо зарекомендовали себя среди пользователей, и улучшенную графическую функциональность на обновленной и очень надежной компьютерной аппаратной базе. Система управления включает один компьютер MUX для генерирования рецептов и просмотра состояния и один управляющий компьютер на каждую трубу.

Разработанные процессы:

• Азотирование кремния (стандартное)
• Азотирование кремния (с пониженным внутренним напряжением)
• Отжиг поликремния с повышением температуры
• Однообразное гранулирование поликремния
• TEOS
• VLTO
• BPSG
• Высокотемпературное окисление (НТО)
• Сухое окисление
• Окисление в атмосфере
• POCI3 или BBr3
• Отжиг водородом (со 100% Н2)
• Высокотемпературная обработка
• Сплав или низкотемпературный отжиг
• Отжиг водородом (со 100% Н2)