Главная Продукция Зарубежное оборудование Оборудование для термических процессов Диффузионные печи для термических процессов серии 5100 и 5200

Продукция

Российское оборудование

Зарубежное оборудование

Каталог оборудования АО «НПП «ЭСТО»

Каталог продукции Fujikin

Презентация оборудования KLOE

Диффузионные печи для термических процессов серии 5100 и 5200

Описание

Модели 5100 и 5200 диффузионных печей от компании Thermco являются четырехкамерными установками для производства подложек диаметром до 150 мм для полупроводникой промышленности, PV, для производства светодиодов, нано- и микроэлектромеханических систем. Эти две модели различаются только длиной рабочей зоны, модели серии 5200 обладают большей производительностью. В каждой камере могут быть размещены технологические трубы диметром до 251 мм. Основная станина печей совместима со станциями загрузки, камерами источника Thermco и определенными типами компонентов автоматизации, такими как загрузочные механизмы с манипуляторами и транспортерами, подающими лотками в эти загрузочные механизмы.

Основная станина печи сварная и изготовлена из холоднокатаной стали, покрытая специальной промышленной эмалевой краской на водной основе. Части и компоненты подвергаемые воздействию повышенной температуры изготовлены из нержавеющей стали. Для уменьшения температуры корпуса печи снаружи до температуры окружающей среды, изнутри ее стены имеют слой из огнеупорного материала с отражающим покрытием.

В качестве датчиков температуры используются термопары типа R и B, которые фиксируются в отверстиях печи специальными зажимами и герметизируются. Специальные манжеты, защищающие от пыли, и заглушки обеспечивают надежную теплоизоляцию датчиков от влияния внешней среды, позволяя более точно контролировать температуру именно технологической трубы.

Для каждого уровня технологической трубы на конце рабочей камеры печи установлен поглотитель отработанных газов из нержавеющей стали 305 х 305 мм. Для повышения устойчивости к коррозии непрерывные сварные швы поглотителя пассивированы. Поглотитель может соединяться с любым вытяжным пленумом пользователя. Каждый пленум включает регулируемый глушитель и дифференциальный манометр для регулировки и контроля давления выхлопа.

Технические характеристики диффузионных печей

Диапазон рабочих температур:
От 200 до 1250 °С (1300 °С с энергосберегающей проводкой нагревателя)

Зона однородного нагрева с расходом газа до 15 л в минуту в зависимости от количества загрузки подложек и экранирование/отклонение потока на конце загрузки технологической трубы.

Зона равномерной температуры для технологических труб с внешним диаметром до 251 мм:

Печь 5200

750 - 1250°C

400 - 750°C

965 – 1067 мм

914 – 1016 мм

Печь 5100

750 - 1250°C

400 - 750°C

660 – 762 мм

610 – 711 мм

Скорость выхода оборудования на рабочий режим при холодном старте:
Средняя скорость выхода на рабочий режим 15°C в минуту.

Скорость охлаждения:
Печь охлаждается с 1200 до 900°C линейно со скоростью не менее 3°C в минуту

Долгосрочная стабильность:
Стабильность температуры печи не менее +/- 0,25 °C.

Восстановление:
С загрузкой 7 500 г стандартная стабильная зона при 900 °C возникает в течение 18 минут.

Быстрый отклик:
Ступенчатые изменения 100 °C могут быть сделаны без внесения изменений в настройки и с минимальным воздействием на однородность зоны нагрева.

Взаимодействие между трубами:
Воздействие труб друг на друга не более ± 0,1°C благодаря термопаре с компенсацией спая и уникальной охлаждающей системе прямой конвекции.

Требования к электроснабжению:
440/460/480 В, 3 фазы, 60 Гц или 380/400/415 В, 3 фазы, 50 Гц

Система управления:
120 В, 1 фаза, 50/60 Гц пользователя или дополнительный трансформатор.

Водоснабжение:
36 литров в минуту при 15 °С

Система питания:
Максимальная надежность с переходом через ноль тринисторными регуляторами во вторичной цепи. Высокоэффективная прямая конвекция или принудительное воздушное охлаждение всей системы.

Размеры печи	Печь 5200	Печь 5100
Длина	2134 мм	1829 мм
Глубина	737 мм	737 мм
Высота	2407 мм	2407 мм
Масса	1451 кг	1315 кг

Система управления

Система управления печи построена на базе контроллера Thermco TMX, являющемся лидером в этой отрасли и признанным одним самых гибких и надежных управляющих устройств для печей с тысячами предустановленных элементов. Контроллер TMXPC сочетает в себе проверенные рецепты и форматы системы управления прежнего поколения устройств TMX, которые уже хорошо зарекомендовали себя среди пользователей, и улучшенную графическую функциональность на обновленной и очень надежной компьютерной аппаратной базе. Система управления включает один компьютер MUX для генерирования рецептов и просмотра состояния и один управляющий компьютер на каждую трубу.

Система управления PC-MUX с контроллером периферийных устройств

PC-MUX представляет собой четвертое поколение широко известных контроллеров TMX, которое было разработано в ответ на требования пользователей иметь надежную и многофункциональную систему управления на базе ПК. Основные характеристики:

высокая надежность аппаратной части ПК промышленного применения;
графический интерфейс пользователя с единой страницей управления всеми основными функциями;
расширенная функциональность рецептов
сохранение всех переменных технологического процесса и системных событий;
совместимость с предыдущими версиями TMX и возможностью импорта рецептов из них;
подробный анализ на основе статистического контроля данных технологического процесса, а именно:

-  вычисление среднего, минимального, максимального и стандартного отклонения;
-   графики, отображающие воспроизводимость процесса;
-   циклограммы процесса с аварийными и предупреждающими сигналами автоматической системы;
-   совмещение (огибающая) графиков с аварийными и предупреждающими сигналами автоматической системы;
-   анализ системных событий по методу Парето;
-   гистограмма системных событий.