Продукция
- Оборудование на складе
- Нестандартное оборудование
- Оборудование для жидких процессов литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Оборудование для оптической литографии
- Оборудование на складе
- Сборочное оборудование и материалы
- Установки для жидких процессов литографии
- Устройства для измерения пластин и толщины пленок
- Оборудование для литографии
- Оборудование для высшей степени очистки газов
- Вакуумное оборудование
- Автоматы для герметизации корпусов
- Установки для изготовления и обработки подложек
- Оборудование для термических процессов
- Ионные имплантеры
- Бинокулярные и стереоскопические микроскопы
- Аппараты для атомно-слоевого осаждения
- Промышленные компрессоры
- Газовые системы
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Диффузионные печи для термических процессов серии 5100 и 5200
Описание
Модели 5100 и 5200 диффузионных печей от компании Thermco являются четырехкамерными установками для производства подложек диаметром до 150 мм для полупроводникой промышленности, PV, для производства светодиодов, нано- и микроэлектромеханических систем. Эти две модели различаются только длиной рабочей зоны, модели серии 5200 обладают большей производительностью. В каждой камере могут быть размещены технологические трубы диметром до 251 мм. Основная станина печей совместима со станциями загрузки, камерами источника Thermco и определенными типами компонентов автоматизации, такими как загрузочные механизмы с манипуляторами и транспортерами, подающими лотками в эти загрузочные механизмы.
Основная станина печи сварная и изготовлена из холоднокатаной стали, покрытая специальной промышленной эмалевой краской на водной основе. Части и компоненты подвергаемые воздействию повышенной температуры изготовлены из нержавеющей стали. Для уменьшения температуры корпуса печи снаружи до температуры окружающей среды, изнутри ее стены имеют слой из огнеупорного материала с отражающим покрытием.
В качестве датчиков температуры используются термопары типа R и B, которые фиксируются в отверстиях печи специальными зажимами и герметизируются. Специальные манжеты, защищающие от пыли, и заглушки обеспечивают надежную теплоизоляцию датчиков от влияния внешней среды, позволяя более точно контролировать температуру именно технологической трубы.
Для каждого уровня технологической трубы на конце рабочей камеры печи установлен поглотитель отработанных газов из нержавеющей стали 305 х 305 мм. Для повышения устойчивости к коррозии непрерывные сварные швы поглотителя пассивированы. Поглотитель может соединяться с любым вытяжным пленумом пользователя. Каждый пленум включает регулируемый глушитель и дифференциальный манометр для регулировки и контроля давления выхлопа.
Технические характеристики диффузионных печей
Диапазон рабочих температур:
От 200 до 1250 °С (1300 °С с энергосберегающей проводкой нагревателя)
Зона однородного нагрева с расходом газа до 15 л в минуту в зависимости от количества загрузки подложек и экранирование/отклонение потока на конце загрузки технологической трубы.
Зона равномерной температуры для технологических труб с внешним диаметром до 251 мм:
Печь 5200 |
750 - 1250°C
400 - 750°C |
965 – 1067 мм
914 – 1016 мм |
Печь 5100 |
750 - 1250°C
400 - 750°C |
660 – 762 мм
610 – 711 мм |
Скорость выхода оборудования на рабочий режим при холодном старте:
Средняя скорость выхода на рабочий режим 15°C в минуту.
Скорость охлаждения:
Печь охлаждается с 1200 до 900°C линейно со скоростью не менее 3°C в минуту
Долгосрочная стабильность:
Стабильность температуры печи не менее +/- 0,25 °C.
Восстановление:
С загрузкой 7 500 г стандартная стабильная зона при 900 °C возникает в течение 18 минут.
Быстрый отклик:
Ступенчатые изменения 100 °C могут быть сделаны без внесения изменений в настройки и с минимальным воздействием на однородность зоны нагрева.
Взаимодействие между трубами:
Воздействие труб друг на друга не более ± 0,1°C благодаря термопаре с компенсацией спая и уникальной охлаждающей системе прямой конвекции.
Требования к электроснабжению:
440/460/480 В, 3 фазы, 60 Гц или 380/400/415 В, 3 фазы, 50 Гц
Система управления:
120 В, 1 фаза, 50/60 Гц пользователя или дополнительный трансформатор.
Водоснабжение:
36 литров в минуту при 15 °С
Система питания:
Максимальная надежность с переходом через ноль тринисторными регуляторами во вторичной цепи. Высокоэффективная прямая конвекция или принудительное воздушное охлаждение всей системы.
Размеры печи |
Печь 5200 |
Печь 5100 |
Длина |
2134 мм |
1829 мм |
Глубина |
737 мм |
737 мм |
Высота |
2407 мм |
2407 мм |
Масса |
1451 кг |
1315 кг |
Система управления
Система управления печи построена на базе контроллера Thermco TMX, являющемся лидером в этой отрасли и признанным одним самых гибких и надежных управляющих устройств для печей с тысячами предустановленных элементов. Контроллер TMXPC сочетает в себе проверенные рецепты и форматы системы управления прежнего поколения устройств TMX, которые уже хорошо зарекомендовали себя среди пользователей, и улучшенную графическую функциональность на обновленной и очень надежной компьютерной аппаратной базе. Система управления включает один компьютер MUX для генерирования рецептов и просмотра состояния и один управляющий компьютер на каждую трубу.
Система управления PC-MUX с контроллером периферийных устройств
PC-MUX представляет собой четвертое поколение широко известных контроллеров TMX, которое было разработано в ответ на требования пользователей иметь надежную и многофункциональную систему управления на базе ПК. Основные характеристики:
- графики, отображающие воспроизводимость процесса; - циклограммы процесса с аварийными и предупреждающими сигналами автоматической системы; - совмещение (огибающая) графиков с аварийными и предупреждающими сигналами автоматической системы; - анализ системных событий по методу Парето; - гистограмма системных событий. |
|