ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Вакуумное оборудование

Отправить заявку

Caroline D12A1

НАЗНАЧЕНИЕ:

Установка «Caroline D12A1» предназначена для магнетронного напыления на керамические, кремниевые и другие подложки размером до Ø100 мм:установка имеет возможность установки либо 4-х магнетронов (например РС, хром, медь, никель), либо 3-х магнетронов и источника термического испарения и т.д.

УСТАНОВКА ОБЕСПЕЧИВАЕТ:

  • напыление резистивных пленок из материалов типа РС–3710; РС–5406; РС–1004 и т.д.;
  • пленок титана, нитрида или окиси титана;
  • нитрида тантала; алюминия толщиной до 15 мкм., меди толщиной до 15 мкм.; двуокиси кремния и нитрида кремния из кремниевой мишени;
  • очистку поверхности изделий перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока;
  • нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
  • стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу;
  • отпыливание мишени любого из одного – четырех магнетронов на управляемую заслонку;
  • горизонтальное расположение мишеней на магнетронах и изделий на вращающемся диске;
  • автоматическое выполнение цикла откачки рабочей камеры от атмосферы до стартового вакуума;
  • автоматическое окончание цикла очистки изделий по заданному времени; контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля, а также по кварцевому измерителю толщины и т.д.;
  • размещение изде­лий на легко снимаемой смен­ной карусели с це­лью сок­ра­щения времени загрузки и выгрузки;
  • возможно разме­щение не­стан­дартных узлов на­не­сения или тра­в­ления пленок, дополнитель­ных нагревателей, из­ме­ри­телей и т.д., если позволяют габариты ка­меры.

УСЛОВИЯ ЭКСПЛУАТАЦИИ:

Установка предназначена для работы при температуре от +15 до +30 °С относительной влажности 65±15%, атмосферном давлении 9,9×104 Па (750±30 мм.рт.ст.). Питание установки осуществляется от трехфазной, четырехпроводной сети с нулевым проводом переменного тока напряжением 380 В±10%, частотой 50 Гц. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 50 А. Установка обеспечивает работу при подаче в нее:холодной воды с температурой 15°С± 5°С под давлением (4÷5 кгс/см2) с расходом 0,6 м3/час;кислорода газообразного под давлением 1÷1,5 кг/см2, аргона газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см2, азота газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см2;

Также необходимо подвести к установке линию слива охлаждающей воды диаметром не менее 20 мм.
 
Установки поставляются с автоматизированной и тестовой технологической программами либо отработка технологии может быть произведена на лабораторной базе Исполнителя под технологию заказчика с последующим переносом ее на заказанную установку.На установке реализованы следующие технологии:
  • напыление РС-3710 с поверхностным сопротивлением от 20 до 1000 Ом/□ и более;
  • напыление нитрида тантала с поверхностным сопротивлением от 20 до 150 Ом/□ и ТКС менее 5×10-5;
  • напыление толстых (до 15 мкм.) слоев металла;
  • напыление последовательных слоев РС и металла в одном цикле;
  • напыление двуокиси кремния и нитрида кремния на керамические и кремниевые пластины диаметром до 100 мм.
Ваша заявка принята!