Главная
Продукция
Российское оборудование
Сборочное оборудование
Автоматическая система очистки пластин ЕР200
Продукция
- Оборудование на складе
- Нестандартное оборудование
- Оборудование для жидких процессов литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Оборудование для оптической литографии
- Оборудование на складе
- Сборочное оборудование и материалы
- Установки для жидких процессов литографии
- Устройства для измерения пластин и толщины пленок
- Оборудование для литографии
- Оборудование для высшей степени очистки газов
- Вакуумное оборудование
- Автоматы для герметизации корпусов
- Установки для изготовления и обработки подложек
- Оборудование для термических процессов
- Ионные имплантеры
- Бинокулярные и стереоскопические микроскопы
- Аппараты для атомно-слоевого осаждения
- Промышленные компрессоры
- Газовые системы
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Автоматическая система очистки пластин ЕР200
Отправить заявку
Технические характеристики системы очистки пластин:
Особенности:
-
Загрузка/выгрузка пластин в спутниках производится вручную
-
Конструкция камеры очистки установки имеет отличие от зарубежных аналогов и запатентована
- Эффективная отмывка деионизованной водой, смешанной с воздухом под давлением
- Сушка воздухом или N2 с подогревом на высокоскоростной центрифуге
- Слежение за процессом очистки с помощью ЖК-дисплея, контрольных датчиков и сигнальной лампы
- Несложное устройство, простое управление, хранение технологических программ очистки, не требует специального обучения персонала
- Европейские стандарты электробезопасности, знак СЕ
Опции:
- Предметный стол 6”
- RINSE
- Входной регулятор давления воздуха с манометром
- Воздушный пистолет
Технические характеристики системы очистки пластин:
Максимальный диаметр
|
Ø200 мм
|
Скорость центрифуги
|
0 – 3000 об/мин.
|
Время мойки/сушки
|
0 – 999 с
|
Давление воздуха, не более
Давление N2, не более
Давление деионизованной воды
Расход воды, не более
Температура нагревателя
|
0,5 МПа
0,4 МПа
0,2 Мпа
0,8 л/мин
25-70°C
|
Функции контроля
|
Вода, воздух, N2, T°C нагревателя, обороты центрифуги
|
Электропитание
|
~ 110/220 В, 50-60 Гц, 0.3 КВт, однофазная
|
Габаритные размеры
|
475Wх585Dх660H мм
|
Масса
|
60 кг
|