Главная Продукция Зарубежное оборудование Аппараты для атомно-слоевого осаждения ALD система PICOSUN R-200

Продукция

Российское оборудование

Зарубежное оборудование

Каталог оборудования АО НПП ЭСТО

Каталог продукции Fujikin

Презентация оборудования KLOE

ALD система PICOSUN R-200

Оборудование PICOSUN для АСО.

R-серия обладает уникальным дизайном двойной камеры с горячими стенками и верхней подачей прекурсоров, что обеспечивает напыление АСО пленок высочайшего качества с превосходной однородностью даже на самых сложных структурах, таких как образцы со сквозными порами, углубления со сверхвысоким соотношением геометрических размеров или порошки наночастиц. Наши высокофункциональные и легкосменные источники прекурсоров для жидких, газообразных и твердотельных химикатов обеспечивают беспримесные технологические процессы для широкого спектра материалов на подложках, трехмерных объектах и образцах, обладающих наноразмерными особенностями.

Превосходная однородность пленок получена с помощью технологических процессов АСО и плазмостимулированного АСО (ПАСО) на инструментах Picosun. Размер подложек 6 дюймов (150 мм), усреднение по 49 точкам.

Материал	Неоднородность (1σ)	Одиночный (О) / пакетный (П) процесс
AI2O3	0.13 %	П
SiO2	0.77 %	П
TiO2	0.28 %	О
ZnO	0.94 %	О
Ta2O5	1.0 %	О
HfO2	1.83 %	О
Pt	3.41 %	О
TiN	1.10 %	О

Установка для АСО плёнок PICOSUN R-200 Standard

Технические характеристики:

Основные характеристики
Тип и размер подложки	50 – 200-мм одиночные подложки Мини-партия из подложек до 150-мм 156 мм x 156 мм кремниевые подложки для фотовольтаики Трехмерные объекты Порошки и частицы Сквозные пористые образцы и образцы, имеющие углубления со сверхвысоким соотношением геометрических размеров
Рабочая температура	50 – 500 °C, более высокие – по требованию
Возможные варианты загрузки образцов в реакционную камеру	Пневматический подъемник (ручная загрузка) Загрузочный шлюз с магнитным манипулятором
Прекурсоры	Жидкие, твердотельные, газообразные, озон До 6 источников с 4 отдельными вводами
Вес и размеры
Вес	350 кг
Размеры (Ш x В x Г)	Зависит от дополнительного оборудования Минимальный: 146 см x 146 см x 84 см Максимальный: 189 см x 206 см x 111 см
Вспомогательные системы
Источник питания	200-240 VAC, однофазное, 50/60 Гц Предохранитель 1 x 16 А Потребляемая мощность зависит от дополнительного оборудования
Вакуумный насос	Рекомендация мин. 100 – 420 м3/час, механическая ловушка частиц и дожигатель включены
Несущий газ	99.999 % N2 / Ar, мин 2 стд.л/мин
Сжатый сухой воздух	4 – 5.5 бар избыточного давления
Охлаждающая вода	Требуется только для безмасляного вакуумного насоса, не требуется для реактора
Выхлоп	Необходим для вакуумного насоса и корпуса инструмента
Дополнительное оборудование
Устройство PICOFLOW™ для улучшения диффузии, кварцевый кристаллический микробаланс (QCM), анализатор остаточных газов (RGA), генератор N2, газоочистное устройство, разработка дизайна инструмента по требованию заказчика, совместимость с перчаточным ящиком для загрузки образцов из инертной среды

Установка для АСО плёнок PICOSUN R-200 Advanced

Технические характеристики:

Основные характеристики
Тип и размер подложки	50 – 200-мм одиночные подложки Мини-партия из подложек до 150-мм 156 мм x 156 мм кремниевые подложки для фотовольтаики Трехмерные объекты Порошки и частицы Сквозные пористые образцы и образцы, имеющие углубления со сверхвысоким соотношением геометрических размеров
Рабочая температура	50 – 500 °C, более высокие – по требованию
Возможные варианты загрузки образцов в реакционную камеру	Пневматический подъемник (ручная загрузка) Загрузочный шлюз с магнитным манипулятором Полуавтоматическая загрузка с помощью погрузочно-разгрузочного манипулятора Покассетная загрузка в кластерных инструментах
Прекурсоры	Жидкие, твердотельные, газообразные, озон, плазма
Вес и размеры
Вес	350 + 200 кг
Размеры (Ш x В x Г)	Зависит от дополнительного оборудования Минимальный: 146 см x 146 см x 84 см Максимальный: 189 см x 206 см x 111 см
Вспомогательные системы
Источник питания	400 VAC, трёхфазное с нейтралью или 200-210 V трёхфазное, 50/60 Гц Предохранители 3 x 16 А Потребляемая мощность зависит от дополнительного оборудования
Вакуумный насос	Рекомендация мин. 100 – 420 м3/час, механическая ловушка частиц и дожигатель включены
Несущий газ	99.999 % N2 / Ar, мин 2 стд.л/мин
Сжатый сухой воздух	4 – 5.5 бар избыточного давления
Охлаждающая вода	Требуется только для безмасляного вакуумного насоса, не требуется для реактора
Выхлоп	Необходим для вакуумного насоса, шкафов с источниками
Дополнительное оборудование
Устройство PICOFLOW™ для улучшения диффузии, кварцевый кристаллический микробаланс (QCM), анализатор остаточных газов (RGA), генератор N2, газоочистное устройство, разработка дизайна инструмента по требованию заказчика, совместимость с перчаточным ящиком для загрузки образцов из инертной среды