ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Для изготовления и обработки подложек

Отправить заявку

ACmicroLine 2000-P2

Опираясь на более чем 40-летний опыт, непрерывные разработки новых и последовательных улучшений существующих процессов, станок AC 2000 является мировым стандартом для двухстороннего полирования пластин. Находясь в постоянном контакте с нашими клиентами, к которым относятся ведущие производители полупроводниковых пластин, PETER WOLTERS стремится к непрерывному улучшению процессов полирования.

Благодаря полировального оборудования AC 2000-P2 3-го поколения для обработки поверхности пластин высокого качества диаметром до 300 мм, мы предлагаем вeдущие решения в соответствии c эффективностью и стоимостью владения.

 

 

 

Технические характеристики:

Модель машины AC 2000-P²
Диаметры дисков -ø [мм] 1935
Ширина кольца [mm] 689
Максимальное рабочее давление [деканьютон] 3500
Мощность привода верхнего диска [кВт] 46 
Мощность привода нижнего диска [кВт] 46 
Скорость вращения привода верхнего диска, [мин-1] 40
Скорость вращения привода нижнего диска, [мин-1] 40
Мощность привода внутреннего венца [кВт] 7.5
Мощность привода наружного венца [кВт] 7.5
Скорость вращения внутреннего венца [мин-1] 50
Скорость вращения наружного венца [мин-1] 12.5
Габариты: ширина, длина, высота [мм] 2900 x 3900 x 4200
Вес [кг] 19000
Загрузка:  
300 мм (12") пластины, шт. 15
200 мм (8“) пластины, шт. 30 

Получаемые результаты на пластине диаметром 300 мм 
TTV < 0.4 мкм
SFQR < 0.03 мкм
Covered Design Rule < 90 нм
Ваша заявка принята!