ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Измерительное

Отправить заявку

Proforma TM 200SA/300SA

Приборы  Proforma TM 200SA и 300SA обеспечивают быстрое сканирование по всей поверхности полупроводниковой или полу изолированной пластины. Пластины вручную располагаются на автоматическом столике, и измерение происходит простым нажатием кнопки. Можно измерять толщину, TTV, прогиб, коробление , локальную и глобальную плоскостность.
Приборы серии  ProformaTM 200/300 SA идеально подходят для разработки и мониторинга процессов утонения пластины. Использование  MsWindows® позволяет быстро и легко проводить комплексный анализ данных и обеспечивает выход данных в табличном и 3-D графическом форматах, которые можно быть экспортировать  в табличные и текстовые редакторы.
Способные измерять резанные , шлифованные , травленые полированные или образцовые пластины, ProformaTM 200SA и ProformaTM 300SA обеспечивают быструю и точную информацию о вашем процессе.
Индивидуальное форматирование и экспорт мульти-форматных данных, а также полная сетевая функциональность приборов позволяют обеспечить легкий доступ к вашему процессу любому пользователю, находящемуся в сети.
Система поставляется с установкой на измерение пластин, изготовленных по  SEMI стандарту, но может настраиваться и на индивидуальные размеры пластин, если потребуется. Каждое измерение или системный параметр выбирается из удобного для пользователя интерфейса. Параметры могут быть модифицированы и данные пересчитаны без необходимости повторного сканирования пластины, используя инженерный анализ «что-если» “what-if” .
В дополнение к мощным способностям  измерения стандартных систем может быть добавлено программное обеспечение для измерения напряженности пластины. Основанная на уравнении
Stoney, система может рассчитывать механическое напряжение , внесенное в пластину после нанесения на нее пленок или иной обработки. Для внесетевого анализа удаленных данных и запуска системы компания MTII предлагает дополнительный мощный пакет программ.
Программы на ОС Windows позволяют видеть данные на любом компьютере вашей сети , загрузить схему измерений в систему и пересчитать данные на основании измененных параметров измерений.
  • Полностью бесконтактное сканирование пластины
  • Совместимы с пластинами от 75 мм до 300 мм
  • 3-D представление толщины и модели
  • Измеряет полупроводниковые и полу изолированные пластины
  • Стандартный пользовательский интерфейс на основе  Windows®
  • Мощное программное и графическое обеспечение
  • Выдача индивидуальных данных
  • Возможность модернизации до полностью автоматической системы
  • Диапазон измерений до 1700 мкм
  • Удаленный анализ данных и задание режимов измерений
Ваша заявка принята!