ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Вакуумное оборудование

Отправить заявку

Caroline PECVD15

НАЗНАЧЕНИЕ:
 
Установка поштучной обработки пластин диаметром до 200 мм. снабжена генератором плазмы высокой плотности (патент РФ № 2 171 555) со своим ВЧ-генератором возбуждения плазмы (частотой 13,56 МГц) и специальным столом с подачей от независимого генератора ВЧ-смещения для вытягивания и ускорения ионов из плазмы. 
 
В зависимости от задач Заказчика установка может быть укомплектована подогреваемым или охлаждаемым столом.
 
УСТАНОВКА ОБЕСПЕЧИВАЕТ:
 
  • стабилизацию заданного расхода технологических газов по четырём каналам и контроль расхода газа по каждому каналу;
  • автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»;
  • перемещения подложек из шлюза на позицию осаждения и обратно при помощи автоматического манипулятора.
 
УСТАНОВКИ ЭТОГО ТИПА КОМПЛЕКТУЮТСЯ:
 
  • автоматическим согласующим устройством;
  • современным многоканальным газонапуском;
  • импортным химстойким турбомолекулярным насосом;
  • баротроном для контроля вакуума в рабочей точке;
  • установки имеют возможность комплектации лазерным контролем толщины осаждаемого слоя (опция);
  • при необходимости прогрев стола до 300ºС.
 
Установка предназначена для производства во всех областях микроэлектроники, микромеханики, оптической промышленности и т.д.
 
УСЛОВИЯ ЭКСПЛУАТАЦИИ:
 
Установка предназначена для работы при температуре 15÷30˚С относительно влажности 65±15%, атмосферном давлении 9,9х104 Па (750 ±30 мм.рт.ст.). 
Питание установки осуществляется от трехфазной четырехпроводной сети с нулевым проводом переменного тока напряжением 380 В ± 10%, частотой 50 Гц. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 50А.
 
Установка обеспечивает работу при подаче в нее:
 
  • холодной воды с температурой 5÷20˚С под давлением (4÷5 кгс/см2) с расходом 0,6 м3/час, также необходимо подвести к установке линию слива охлаждающей воды диаметром не менее 20 мм;
  • сжатого воздуха под давлением 4÷6 кгс/см2;
  • кислорода газообразного под давлением 1÷1,5 кг/см2, аргона газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см2, азота газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см2
 
На установке реализованы следующие технологии:
 
  • Осаждение низкотемпературного нитрида или SiO2;
  • Осаждение диэлектриков с хорошим качеством и равномерностью (SiO2, Si3N4), из моносилана с кислородом и азотом при «комнатных» температурах подложки. 
 
Установка поставляется с автоматизированной управляющей и тестовой технологической программами либо на лабораторной базе Исполнителя под технологию Заказчика может быть произведена отработка технологии с последующим переносом её на заказанную установку.
Ваша заявка принята!