ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Вакуумное оборудование

Отправить заявку

Caroline PE12

 

НАЗНАЧЕНИЕ:

Вакуумно-технологическая установка «Caroline PE12» предназначена для плазмохимического, ионно-химического и ионного травления тонких плёнок в вакууме на любых плоских (толщина не более 30 мм.) подложках размером до Ø 250 мм.Эта установки полностью автоматизированного управления с поштучной обработкой пластин Ø до 250 мм. снабжена генератором плазмы высокой плотности (патент РФ № 2 171 555) со своим ВЧ-генератором возбуждения плазмы (частотой 13,56 МГц) и специальным столом с подачей от независимого генератора ВЧ-смещения для вытягивания и ускорения ионов из плазмы.

Для улучшения теплоотвода от подложки предусмотрен так называемый «гелиевый теплоотвод», который подразумевает подачу гелия между подложкой и поверхностью стола, что позволяет поддерживать небольшой перепад температур между поверхностью электрода и подложки.

УСТАНОВКА ОБЕСПЕЧИВАЕТ:

  • стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу;
  • автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»;
  • специальными согласующими устройствами;
  • вакуумная камера установки снабжена прямоугольной дверью для удобства обслуживания;
  • по желанию Заказчика возможно размещение других узлов травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры (опция).

УСЛОВИЯ ЭКСПЛУАТАЦИИ:

Установка предназначена для работы при температуре 15÷30˚С относительно влажности 65±15%, атмосферном давлении 9,9х104 Па (750 ±30 мм.рт.ст.). Питание установки осуществляется от трехфазной четырехпроводной сети с нулевым проводом переменного тока напряжением 380 В ± 10%, частотой 50 Гц. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 50А.

Установка обеспечивает работу при подаче в нее:

  • холодной воды с температурой 5÷20˚С под давлением (4÷5 кгс/см2) с расходом 0,6 м3/час, также необходимо подвести к установке линию слива охлаждающей воды диаметром не менее 20 мм;
  • сжатого воздуха под давлением 4÷6 кгс/см2;
  • кислорода газообразного под давлением 1÷1,5 кг/см2, аргона газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см2, азота газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см2.

На установке реализованы следующие технологии:

  • травление меди, золота, серебра, платины и многих других материалов ионным распылением;
  • травление кремний содержащих слоев (оксиды, нитриды, поликремний, КНС, монокристаллический кремний), кварцевых подложек, пьезокварца со скоростями до 1 мкм/мин. с хорошим качеством поверхности на глубину более 100 мкм.;
  • травление арсенида галлия, нитрида галлия, и других сложных полупроводников;
  • травление любых полимерных слоев;
  • превосходная очистка керамики от любых загрязнений;
  • для электровакуумных приборов обработка в водородной плазме заменяет высокотемпературный водородный отжиг. 

Установка поставляется с автоматизированной управляющей и тестовой технологической программами либо на лабораторной базе Исполнителя под технологию Заказчика может быть произведена отработка технологии с последующим переносом её на заказанную установку (опция).

Ваша заявка принята!