ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Вакуумное оборудование

Отправить заявку

Caroline D12B1

НАЗНАЧЕНИЕ:
 
Установка «Caroline D12B1» - полностью автоматическая установка магнетронного напыления, предназначена для магнетронного напыления на металлические изделия, такие как лопатки турбин, инструменты и другие изделия. Установка имеет 20 позиций вращения с максимальным диаметром 80 мм. и длиной до 400 мм.
 
Установка имеет возможность установки до 4-x пар магнетронов для распыления любых материалов из мишеней размером 440х100х6÷15 мм.
 
Особенностью установки является механизм вращения носителей, который позволяет вращать изделие вокруг своей оси и производить напыление с четырех сторон.
 
УСТАНОВКА ОБЕСПЕЧИВАЕТ:
 
  • очистку поверхности изделий перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока;
  • нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
  • стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу;
  • отпыливание мишени любого из одного - восьми магнетронов на управляемую заслонку;
  • вертикальное расположение мишеней на магнетронах и изделий на вращающихся позициях;
  • автоматическое выполнение технологического цикла по программе;
  • размещение изделий на легко снимаемых носителях с целью сокращения времени загрузки и выгрузки.
 
УСЛОВИЯ ЭКСПЛУАТАЦИИ:
 
Установка предназначена для работы при температуре +15oС÷+30 oС относительно влажности 65 ± 15%, атмосферном давлении 9,9×104 Па (750 ± 30 мм.рт.ст.).
 
Питание установки осуществляется от трехфазной четырехпроводной сети с нулевым проводом переменного тока напряжением 380 В ±10%, частотой 50 Гц. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 50 А.
 
Установка обеспечивает работу при подаче в нее:
 
  • холодной воды с температурой 5oС÷20°С под давлением (4÷5 кгс/см2) с расходом 0,6 м3/час.
  • кислорода газообразного под давлением 1±1,5 ­кг/см.2, аргона газообразного марки «особо чистый» под давлением 1±1,5 кг/см2, азота газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см2. 
 
На установке этого типа были реализованы следующие технологии: 
 
  • напыление толстых (до 100 мкм.) слоев оксида циркония;
  • напыление последовательных слоев нитридов металлов в одном цикле;
  • напыление двуокиси кремния и нитрида кремния;
  • нанесение нанокомпозитных покрытий;
  • нанесение покрытий «суперлаттик»;
  • нанесение материалов типа 3-D нанокомпозитные покрытия на основе нитридов титана, алюминия и кремния.
  • нанесения декоративных покрытий при невысоких температурах;
Установка поставляется с автоматизированной управляющей и тестовой технологической программами, либо на лабораторной базе Исполнителя под технологию Заказчика может быть произведена отработка технологии с последующим переносом её на заказанную установку. 
Ваша заявка принята!