ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Вакуумное оборудование

Отправить заявку

Caroline D12B

НАЗНАЧЕНИЕ:

Установка «Caroline D12В» - полностью автоматическая установка магнетронного напыления, предназначена для магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские (толщина не более 30 мм.) подложки размером до Ø150 мм (максимальная плоскость обрабатываемых деталей 150×350 мм):
 
Установка комплектуется магнетронами в количестве до 4-x с размером мишени 440×100×6÷13 мм. (например, РС, хром, медь, никель, алюминий, ванадий и т.д.), изнутри цилиндрического барабана для напыления:
 
  • резистивных пленок из материалов типа РС–3710;
  • РС–5406; РС–1004 и т.д.;
  • пленок титана, нитрида или окиси титана;
  • нитрида тантала;
  • алюминия толщиной до 15 мкм.;
  • меди до 15 мкм.;
  • двуокиси кремния и нитрида кремния толщиной до 4 мкм. и со скоростью напыления до 1,5 мкм/час на барабан.
 
УСТАНОВКА ОБЕСПЕЧИВАЕТ:
 
  • очистку поверхности изделий перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока;
  • нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
  • стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу;
  • отпыливание мишени любого из одного - четырех магнетронов на управляемую заслонку;
  • вертикальное расположение мишеней на магнетронах и изделий на вращающемся барабане;
  • полностью автоматическое выполнение программ «от загрузки до загрузки»;
  • контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля;
  • размещение изделий на легко снимаемых с барабана носителях с целью сокращения времени загрузки и выгрузки.
Вакуумная камера установки снабжена прямоугольной дверью большого размера для удобства загрузки-выгрузки носителей. Для обслуживания камеры она поднимается над плитой – основанием с помощью гидроподъемника.
 
Установка в предельном варианте комплектации имеет два комплекта блоков питания магнетрона и ионного источника и блок подачи смещения на барабан-подложкодержатель.
 
Возможно размещение нестандартных узлов нанесения или травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры.
 
УСЛОВИЯ ЭКСПЛУАТАЦИИ:
 
Установка предназначена для работы при температуре +15÷+30oС относительно влажности 65 ±15%, атмосферном давлении 9,9×104 Па (750 ±30мм.рт.ст.).
 
Питание установки осуществляется от трехфазной, четырехпроводной сети с нулевым проводом переменного тока напряжением 380 В ±10%, частотой 50 Гц. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 50 А.
 
Установка обеспечивает работу при подаче в нее:
 
  • холодной воды с температурой 15 oС±5 oС под давлением (4±5 кгс/см2) с расходом 0,6 м3/час.
  • кислорода газообразного под давлением 1±1,5 кг/см2, аргона газообразного марки «особо чистый» под давлением 1±1,5 кг/см2, азота газообразного марки «особо чистый» под давлением 1±1,5 кг/см2.
Необходимо подвести к установке линию слива охлаждающей воды диаметром не менее 20 мм.
 
Установки поставляются с автоматизированной и тестовой технологической программами либо отработка технологии может быть произведена на лабораторной базе Исполнителя под технологию Заказчика с последующим переносом ее на заказанную установку. На установке реализованы следующие технологии:
 
На установке реализованы следующие технологии:
 
  • напыление РС–3710 с поверхностным сопротивлением 20÷1000 Ом/□ и более;
  • напыление нитрида тантала с поверхностным сопротивлением 20÷150 Ом/□ и ТКС менее 5×10-5;
  • напыление толстых (до 15 мкм. и более) слоев металла;
  • напыление последовательных слоев РС и металла в одном цикле;
  • напыление двуокиси кремния и нитрида кремния из кремниевой мишени.
Ваша заявка принята!