ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Вакуумное оборудование

Отправить заявку

Caroline D12С

НАЗНАЧЕНИЕ:
 
Установка «Caroline D12С» – полностью автоматизированная вакуумно-технологическая установка предназначена для магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские (толщина не более 30 мм.) подложки до 150 мм (максимальная плоскость обрабатываемых деталей 150×650 мм).
 
Установка комплектуется магнетронами от одного до четырех штук для распыления любых материалов (Cu, Cr, Ni, Al и т.п.)
 
УСТАНОВКА ОБЕСПЕЧИВАЕТ:
 
  • очистку поверхности изделий перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока;
  • нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
  • стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каж­дому каналу;
  • отпыливание мишени любого из одного - четырех магнетронов на управляемую заслонку;
  • вертикальное расположение мишеней на магнетронах и изделий на вращающемся барабане;
  • автоматическое выполнение цикла откачки рабочей камеры от атмосферы до стартового вакуума;
  • автоматическое окончание цикла очистки изделий по заданному времени;
  • контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному вре­мени или по заданному сопротивлению свидетеля;
  • размещение изделий на легко снимаемых с барабана носителях с целью сокращения времени загрузки и вы­грузки.
Вакуумная камера установки снабжена прямоугольной дверью большого размера для удобства загрузки-выгрузки носителей. Для обслуживания камеры она поднимается над плитой – основанием с помощью гидроподъемника.
 
Установка в предельном варианте комплектации имеет второй блок питания магнетрона и блок подачи смещения на барабан-подложкодержатель.
 
УСЛОВИЯ ЭКСПЛУАТАЦИИ:
 
Установка предназначена для работы при температуре +15oС÷30 oС относительно влажности 65 ±15%, атмосферном давлении 9,9×104 Па (750 ±30 мм.рт.ст.).
 
Питание установки осуществляется от трехфазной, четырехпроводной сети с нулевым проводом переменного тока напряжением 380 В ±10%, частотой 50 Гц. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 50 А.
 
Установка обеспечивает работу при подаче в нее:
 
  • холодной воды с температурой +5oС÷+20 oС под давлением (4÷5 кгс/см2) с расходом 0,6 м3/час.
  • кислорода газообразного под давлением 1÷1,5 кг/см2, аргона газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см2, азота газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см2.
Необходимо подвести к установке линию слива охлаждающей воды диаметром не менее 20 мм.
 
Установка поставляется с автоматизированной управляющей и тестовой технологической программами либо на лабораторной базе Исполнителя под технологию Заказчика может быть произведена отработка технологии с последующим переносом её на заказанную установку.
 
На установке реализованы следующие технологии:
 
  • напыление РС–3710 с поверхностным сопротивлением 20÷1000 Ом/□ и более;
  • напыление нитрида тантала с поверхностным сопротивлением 20÷150 Ом/□ и ТКС менее 5×10-5;
  • напыление толстых (до 15 мкм. и более) слоев металла (Al, Cu и т.д.);
  • напыление последовательных слоев РС и металла в одном цикле;
  • напыление двуокиси кремния и нитрида кремния из кремниевой мишени.
Ваша заявка принята!