 |
Система измерения удельного, поверхностного сопротивления напылённых слоев RMS-EL
Система состоит из:
- Multiheight Probe - 1. Multiheight Probe - Предметный стол с механизмом перемещения по высоте, цилиндрической измерительной головкой
- Изменяемая высота, чтобы измерять образцы от тонких слоев до слитков.
- Уровень работы измеряющей головы с переключаемым током, чтобы предотвратить замыкание.
- Образцы измерения высотой до 200мм.
- Ширина образца, ограничена только размером рабочего столика.
- 2. Источник постоянного тока, цифровой вольтметр RM3-AR Вырабатывает постоянный ток между 10nA и 99.99mA, измеряет напряжения от 0.01mV до 1250 милливольт.
Диапазон измерения:
1 мОм/площадь до 500 МОм/площадь (поверхностное сопротивление)
1 мОм/см до 1 МОм/см (объёмное удельное сопротивление)
Единица измерения: мВ или Ом/площадь
Встроенная память: 50 показаний
Программное обеспечение: для обработки, чтения результатов
Автодиапазон: определяет соответствующие текущие параметры настройки
Ток: обратимый для проверки хороших контактов, измерений
Точность: 0.3 %, самая высокая точность 0,1 % или лучше в среднем
Соединение: USB или RS-232
|
 |
Измерительная цилиндрическая головка
Общие описание
Головки Jandel для измерения поверхностного, удельного сопротивления сделаны почти полностью из антимагнитных материалов за исключением контактного провода. У большинства головок для измерения сопротивления есть алюминиевое тело, наконечник, верхний проводник. Наконечники – карбид вольфрама включают агатовый подшипник, то есть верхний, более низкий синтетический провод рубиновых иглы. Есть несколько крошечных используемых винтов нержавеющей стали. Стандартный температурный предел для цилиндрических головок - +120ºC. Jandel предлагает высоко-низкую температурную версию цилиндрических головок, у которых есть наконечник с подушкой из драгоценного камня, вместо стандартной акриловой подушки. Эта версия может противостоять температурам от LN2 температуры LN2 (77 К) до +200ºC.
Точность
Измерительные головки Jandel для измерение поверхностного, удельного сопротивления обеспечивают высокий уровень механической точности. Интервалы наконечника в пределах 10 мкм. Допуск радиусов наконечника укладывается в 10 %, однако, самые общие радиусы, такие как 40 мкм, 100 мкм обычно укладываются в пределах 5 %.
|
 |
Интервал
Jandel предлагает головки для измерения поверхностного, удельного сопротивления с интервалом между иглами порядка 0.5 мм в нескольких моделях, включая цилиндрические измерительные головки, головки с 6-ю иглами, головки с 4-мя иглами, патроны с выводами. Головки для измерения сопротивления, построенные с интервалом наконечника 0.5mm, доступны с нагрузкой только до 100 граммов. Интервалы между игл наконечника могут быть доступны вплоть до 1.591 мм. Интервал наконечника измеряется от центра области контакта. Чтобы измерить интервал наконечника, иглы нажаты на подложку сапфира, затем расстояния рассматриваются, используя оптический интерферометр. Микронное деление, используемое микрометром, гарантирует необходимое расстояние между центрами колец.
|
 |
Давление щупов (игл)
Jandel для измерения удельного или поверхностного сопротивления использует изготовленную на заказ электронную меру давления, чтобы установить, а также проверить нагрузку на каждую иглу индивидуально. У цилиндрических головок, которые являются одной из нескольких форм оболочки головок, предлагаемые Jandel, есть регулятор давление, которое может быть установлено в пределах одного из трех диапазонов следующим образом: 10 - 30 грамм, 30 - 60 грамм, или 60 - 150 грамм давления на наконечник. Также доступно давление выше 150 грамм вплоть до 200 грамм, но установлены без регулирования. Кнопка регулирования давления расположена сверху измерительной головки и сделана из тефлона. Превращение кнопки регулирования по часовой стрелке давление увеличивает. Цилиндрическая головка для измерения поверхностного или удельного сопротивления - модель, используемая на всех измерительных приборах Jandel.
|
|
