ООО «ЭСТО-Вакуум»

ООО "ЭСТО-Вакуум" - 8 лет на рынке.

Основная специализация: Разработка и производство автоматизированного вакуумного оборудования для магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления, плазмохимического травления, плазмостимулирующего осаждения.

Установки Caroline

В ООО "ЭСТО-Вакуум" разработана серия машин Caroline - семь моделей в 12 модификациях. Среди них три типа установок магнетронного напыления, в том числе двухстороннего (металлов, резистивных слоев, кремния и др.) на полупроводниковые и диэлектрические подложки. Установки позволяют осаждать и толстые слои металла - до 15 мкм и более.

В серию Caroline входят установки травления - ионно-лучевого, плазмохимического, ионнохимического. Шлюзовая установка "Caroline PECVD 15" предназначена для плазмостимулированного осаждения диэлектрических слоев. Возможно травление тонких слоев резистивных сплавов, металлов и диэлектриков на керамических, кремниевых и любых плоских подложках диаметром до 200мм.

Потребители вакуумного оборудования

НПП "ЭСТО" поставило вакуумные установки в ОАО "Орбита" г. Саранск, завод "Старт" г. Заречный, ОАО "РПКБ" Раменское. Установки используются для производства гибридных микросхем, а также для напыления тонких слоев металла - меди, титана, алюминия и др.

Установки травления кварца поставлены в ВНИИЭФ г.Саров, НПП "Полет" г. Нижний Новгород.

Установки обработки кремния поставлены в ВНИИ "Автоматика".

www.esto-vacuum.ru