Модернизация электротермического оборудования

Ведущая компания ЗАО «Электронсервис», входящая в группу компаний ЭСТО, с самого момента своего основания целенаправленно и систематически выполняет работы по модернизации электротермического оборудования практически всех отечественных производителей:

• установок "Изотрон 3-150", предназначенных для осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм;
• установок "Изотрон 4-150", предназначенных для осаждения слоев поликристаллического кремния и нитрида кремния на пластинах диаметром 150мм;
• установок "Оксид-3", предназначенных для сухого или пирогенного окисления пластин диаметром 150 мм;
• установок "Октава", предназначенных для сухого или пирогенного окисления пластин диаметром 100 мм;
• установок серий "СД.ОМ-3/100", предназначенных для различных процессов термодиффузии на пластинах диаметром 100 мм
  (фотографии приведены ниже)       
• установок "Изоплаз-150", предназначенных для осаждения диэлектрических слоев на пластины диаметром 150 мм.
  

Особенностью работ по модернизации является то, что при всей проработанности типовых решений, они выполняются по индивидуальному техническому заданию Заказчика. Если нет готовых конструкторских решений, и Ваш случай -- особенный, наше КБ спроектирует адаптированную документацию с учетом особенностей техпроцесса и Ваших пожеланий.

Опыт работы показывает, что технические задания Заказчика можно разделить на две категории:

• замена управляющего комплекса на базе БУ "Орион-3", "Орион-4" на персональный компьютер;
• комплексная модернизация, включающая в себя дополнительно замену блоков управления загрузкой (БУЗ), блоков управления нагревом (БПРТ), контроля температуры (ПИ.ТРА), плат дискретного выхода (8КТ), регуляторов расхода газа на современные РРГ-10 и РРГ-12, замену электропневмоклапанов и т.д.

Сегодня основной тенденцией в автоматизации технологических процессов является применение распределенных систем управления и сбора данных. Применение распределенных систем управления и сбора данных позволяет:

• значительно сократить затраты на кабельные коммуникации, идущие к датчикам;
• уменьшить размеры управляющей системы:
• приблизить мощность современных вычислительных средств к объекту управления;
• повысить живучесть всей системы, легко заменять отказавшие элементы, дублировать критически важные узлы;
• использовать принцип модульности, делая отдельные элементы и узлы системы относительно независимыми и автономными;
• вводить в строй не всю систему сразу, а поэтапно;
• снизить расходы на модернизацию системы, быстрое расширение и наращивание возможностей.

Наши решения ориентированы на использование мощности современных вычислительных средств, промышленных контроллеров, приводов, датчиков, различных регуляторов и разнообразной низковольтной аппаратуры от ведущих мировых производителей.

ЗАО «НПП «ЭСТО» предлагает услуги по осуществление полной или частичной модернизации промышленного оборудования, которая позволит эффективно, без неоправданных затрат, вывести на качественно новый уровень Ваше производство, что значительно повысит конкурентоспособность выпускаемой Вами продукции.